Система для определения окончания процесса травления электрохимическим методом

Это комплексное решение для контроля процессов травления электрохимическим методом. Данная система является одной из наиболее экономически эффективных, удобных и точных систем для изготовления тонких монокристаллических кремниевых  мембран. Она основана на различиях потенциалах травления n и p слоев кремния в щелочах, таких как гидроксид калия (KOH).

Два ключевых момента системы:
- надежный держатель пластины, который защищает n слой задней стороны пластины от травителя и обеспечивает электрический контакт с пластиной

- потенциостат, обеспечивающий постоянный контроль тока через p/n переход в реальном времени.

Компания AMMT предлагает широкий спектр держателей пластин и потенциостатов,  специально изготовленных для контроля окончания процессов травления, электрохимическим методом для производства МЭМС, обеспечивая высокую надежность и экономическую эффективность.  Стандартные конфигурации держателей: держатель для одной пластины Single серия  и Tandem серия, позволяющая обрабатывать сразу две пластины. В последнем случае пластины размещают задними сторонами друг к другу. Данное оборудование широко используется в промышленности и в научно-исследовательских институтах по всему миру и зарекомендовало себя как высококачественное оборудование.

Система имеет в составе:
-платиновый сетчатый электрод в размер обрабатываемой пластины;
- платиновый эталонный электрод для измерения потенциала травящего раствора;
- потенциостат, обеспечивающий обратное смещение p/n – перехода и производит измерения тока во времени;
- держатели пластин диаметром, для пластин различного диаметра.  Держатели защищают заднюю сторону и края пластины от травящего раствора, поддерживая при этом электрический контакт с обратной стороной пластины. 
-ванна для травления, выполненная из полипропилена, и имеющая в составе нагреватель, выполненный из нержавеющей стали, покрытый слоем политетрафторэтилена и снабженный датчиком температуры, и блоком для обеспечения рециркуляции, снабженный мембранным насосом;
-устройство крепления для держателей пластин