Системы травления в парах плавиковой (фтористоводородной) кислоты

Плавиковая кислота - это идеальный травитель для все типов оксида кремния, используемый в микрообработке. Широко применяется благодаря высокой скорости травления и высокой избирательности в отношении к кремнию. Типично применение систем травления в плавиковой кислоте является удаление жертвенных оксидных слоев в производстве  МЭМС.  Однако, что характерно для жидкофазного травителя, есть высокий риск прилипания к подложке подвижных структур из-за эффекта поверхностного натяжения.
Компания AMMT решила эту проблему, системы травления AMMT работают в паровой фазе. Система травления в парах фтороводородной кислоты превосходно приспособлена для поверхностной микромеханики, изготовления МЭМС КНИ, химической резки пластин, утонения и многих других приложений.

Пластину загружают в ячейку травления стороной вниз. Пары плавиковой кислоты генерируются из небольшого резервуара  на дне ячейки. Пары плавиковой кислоты реагируют с SiO2 на поверхности пластины с образований летучих SiF4 соединений, которые легко десорбируются с поверхности. Реакция также требует небольшое количество воды, присутствующей на поверхности. С целью обеспечения микроскопической пленки воды на поверхности, без образования капель, которые могут вызвать прилипание, пластины слегка нагревают с тыльной стороны с помощью высокоточной нагревательной поверхности, стойкой к парам кислоты. Водяная пленка на поверхности пластины испаряется при температуре всего на несколько градусов выше комнатной. Скорость травления уменьшается с ростом температуры и полностью прекращается при температуре выше 50 °C.

Превосходная однородность травления достигается за счет специальной конструкции нагревателя, разработанной компанией AMMT, конструкция позволяет минимизировать температурный разброс на пластине, который может повлиять на скорость травления.  Стандартная скорость травления термических оксидов находится в диапазоне от 3 до 5 мкм/ч,  а оксидов CVD может быть в два раза выше.

SiO2 + 2H2O > Si(OH)4
Si(OH)4 + 4HF > SiF4 + 4H2O

AMMT предлагает две различные системы травления в парах плавиковой кислоты. Система HFVE Basiс, которая обычно используются для НИОКР и HFVE Systems которая поставляется со специальной системой откачки и слива плавиковой кислоты. Обе системы имеют одинаковое крепление пластин и одинаковые нагревающие поверхности,  что позволяет легко и не дорого усовершенствовать систему HFVE Basic до полуавтоматической системы  HFVE Systems.

Система HFVE Basiс:

Система HFVE Systems: