Система для определения окончания процесса травления инфракрасным спектроскопом
Система контроля толщины кремния в реальном времени

СИСТЕМА НАХОДИТСЯ НА СТАДИИ РАЗРАБОТКИ.

Система работает на основе оптических свойств тонких пленок или мембран кремния, отражению и интерференции. AMMT IRES (Система для определения окончания процесса травления инфракрасным спектроскопом) позволяет анализировать толщину кремниевой мембраны или диафрагмы от 100 нм до 250 микрон в реальном времени во время процесса травления кремния. Вы можете измерить толщину и скорость травления кремния.

Особенности.
Измерение в реальном времени толщины пластины/мембраны во время процессов травления в KOH / TMAH.

Принцип работы.
Два наиболее распространенных способа измерения пленок это спектральное измерение коэффициента отражения/пропускной способности и эллипсометрия. AMMT IRES использует метод спектрального измерения отраженного света.. Преобразование Фурье отраженного спектра позволяет измерять толщину мембраны или пластины. 

  Применение.
Система AMMT IRES идеальна для процессов где требуется контроль скорости травления  и толщины пластины или мембраны в реальном времени. Также система может быть использована для измерения толщины оксидных пленок, SiNx и т.д. Специальный держатель пластин компании AMMT серии Single для обработки одной пластины оснащен специальным зондом спектометра, который принимает световое пятно на задней стороне пластины. Оптический фокус светового пятна фиксируется в заданном заказчиком определенном месте пластины.

С помощью оптоволоконного переключателя один спектрометр может быть использован для контроля процесса травления нескольких пластин одновременно.