Система жидкостного травления для формирования пористого кремния

Пористый кремний получил широкое распространения в последние десятилетия благодаря интересным свойствам материала при приближении к нано размерам и высокой специфичности площади поверхности. Такой материал применяют для изготовления датчиков влажности,  фильтров, оптических элементов и биохимических матриц. Микропористый кремний изготавливают с помощью травления кремния в растворителе на основе плавиковой кислоты с применением электрического напряжения. Большинство фабричных решений для макропористого кремния требуют дополнительной засветки,  эта же технология используется в установках AMMT.

Линии формирования пористого кремния компании AMMT состоят из:
- Система PSB, емкость, состоящая из двух ячеек, в которые заливается травитель на основе плавиковой кислоты. Ячейки оснащены платиновыми электродами.
- Один или несколько держателей пластин, которые крепятся в емкости системы PSB.  
- Источник питания Porous Silicon Power Supply PS, который генерирует электрический ток, необходимый для формирования структуры пористого кремния.

 

Вместе эти звенья составляют систему для формирования пористого кремния, которую используют основные производители в области МЭМС.