Жидкостное травление. Держатели пластин, с подсветкой и без. Ванны для травления.

AMMT предлагает линейку держателей пластин с механической фиксацией (фиксация винтами).  Данные держатели подходят практически для любых МЭМС приложений.

Single серия, стандартные держатели с механической фиксацией, для обработки одной пластины. В дополнении к стандартным держателям для пластин 4 и 6 дюймов, так же доступны держатели для пластин 3, 5, 8 дюймов,  держатели кусочков пластин и специальные держатели квадратных чипов.

Tandem серия. Уникальной особенностью этих держателей является их дизайн. Держатели данной линейки позволяют одновременно обрабатывать две пластины.  Пластины крепятся задними сторонами друг к другу, по обе стороны держателя. Такой дизайн позволяет уменьшить расходы на оборудование и увеличить пропускную способность, обрабатывая большое количество пластин за раз, используя небольшие ванны для травления. Держатели Tandem серии доступны как в виде обычных держателей, так и в серии EC с встроенными проводящими пинами, для систем контроля окончания процесса травления электрохимическим методом.

Single IL серия. Держатели данной серии оснащены галогенной или диодной подсветкой, и смотровым окном, что позволяет оператору визуально контролировать процесс травления.

Single OW серия. Держатели данной серии выполнены с прозрачной задней стороной, для оптического контроля без дополнительной подсветки. Pyrex стекло используется для травления в KOH и TMAH, сапфировое для травления в плавиковой кислоте (HF травление).

Single Chip серия. Разработана специально для пользователей использующих многопользовательский процесс производства. Это миниатюрные держатели, фиксирующие один чип. Для минимизации площади захвата используются специальные уплотнительные кольца, которые предлагаются различных размеров и форм, на заказ.

Все держатели пластин  изготовлены на основе высокостойкого, химически стабильного полимера. Двойные уплотнительные кольца обеспечивают надежную защиту, позолоченная поверхность пинов обеспечивает прекрасный контакт с задней стороной пластин.
 
Также компания AMMT предлагает различные ванны для травления. Подходящие для травления  в KOH (гидроксид калия), TMAH (тетраметиламмония гидроксид) и HF (плавиковая или фтороводородная кислота).