Зондовая установка для тестирования пластин, подложек и готовых микрохем - Cascade PM5

Эффективная и компактная

Cascade PM5 разработана как недорогое решение для анализа пластин и подложек до 150 мм ( 6 дюймов)

Гибкость конфигурации позволяет системе проводить измерения в широком спектре постоянного тока и высоких частот.

Широкий выбор аксессуаров и модульность PM5 позволяет дооснащать систему и сокращать затраты на стадии внедрения

Все возможные аксессуары можно применить в PM5, что дает возможность усовершенствования системы в любой момент, позволяя сократить расходы на стадии внедрения.

Новые возможности системы:

Проблемы и решения

Аналитическое зондирование

PM5 обеспечивает стабильность, а также высокое разрешение, требуемое для точного позиционирования. Модульный дизайн дает возможность для будущего наращивания системы.

Опции PM5 включают стерео зум, высокое увеличение и эмиссионную микроскопию. Движения микроскопа могут быть как самыми простыми, так и полностью автоматизированными с помощью операционной системы ProberBench.

Микроскоп поднимается и опускается вручную или пневматически с минимальным расстоянием до пластины в 7,5 см, что дает возможность легкого доступа к зондовым иглам и самой пластине.

Столик достаточно тяжел для обеспечения наибольшей точности.

Перемещение столика по оси Z составляет 40 мм линейного движения плюс 0,2 мм пошагового передвижения для контакта. Это дает возможность гибкого подхода к различным устройствам, уже смонтированным на пластине/подложке.

Держатель смонтирован на столе, перемещающемся по осям X и Y и оснащен эргономичными соосными ручками. Позиция держателя может быть также тонко подкорректирована по оси Z. Отходящая по оси Z платформа обеспечивает быструю и безопасную загрузку прибора, а также точную повторяемость как для подложек, так и готовых приборов.

Все системные контроллеры эргономически продуманы и находятся в надлежащих местах, что дает оператору максимальный комфорт в использовании.

PM5 в себе гибкость и субмикронное разрешение. Линейные перемещения платформы, стабильная основа и точный мост микроскопа – вот основные преимущества всех без исключения зондовых станций Cascade.

Зондовые платы и тестирование готовых приборов

Все держатели плат от Cascade быстро вставляются в платформу. Это обеспечивает возможность использования достаточно небольшого места при применении стандартных зондовых головок для тестирования готовых приборов сверху. Так как платформа держателей в PM5 имеет независимую свободу передвижений по осям X и Y, то возможно легкое и быстрое позиционирование зондовых головок в разных местах тестируемого прибора.

В PM5 можно применять адаптеры для собранных приборов, которые фиксируются на держателе вакуумом или монтируются вместо держателя, давая большее пространство для тестирования прибора.

Уникальная байонетная (штыковая) система защелок Cascade дает возможность быстрой смены адаптеров и вакуумных держателей прямо на месте руками.

Высокочастотные приложения

Модульный дизайн PM5 дает возможность установки набора для высокочастотного зондирования вместе с зондами для постоянного тока.

Компоненты для ВЧ-зондирования могут быть с легкостью добавлены к существующей стандартной конфигурации.

Вакуумный держатель при ВЧ-конфигурации имеет дополнительные вакуумные шаблоны для калибровки пластин.

ВЧ-платформа совместима с различными креплениями зондовых головок: вакуумными, магнитными или болтовыми.

Опционально можно применить кинематическое крепление головки Cascade PH250 HF, что дает дополнительные возможности в четырех направлениях одной плоскости.

Измерения на низком токе

Низкоточные измерения требуют защищенную среду с низкой утечкой и малыми помехами. Это возможно с патентованной системой ShieldEnclosure, триаксиальным держателем и триаксиальными зондовыми руками.

Основание

PM5 – это комбинация стабильности и высокого разрешения с наилучшей эргономикой, что является прямым результатом улучшенной механической системы всей конструкциию Непревзойденная защита от вибраций и стабильность системы обеспечивается от основания установки до зондовых игл.

Привод платформы

Привод осуществляется рычагами, которые приводят в движение линейную механику. Это обеспечивает наилучшую точность и стабильность перемещения.

Мощный привод равномерно распределяет усилие через две массивные стойки. Каждая платформа имеет собственную стойку с подшипниками для точного и повторяемого перемещения. Привод также обеспечивает предварительное и точное Z-перемещение.

Платформа для подложек

Эта платформа перемещается по основанию установки. Эргономичные ручки обеспечивают быстрое независимое перемещение по осям X и Y. Также обеспечивается быстрый 90-мм отход платформы для загрузки пластины.

Система позволяет выставлять зазор для контакта, что облегчает работу с подложками разной толщины.

Стандартное 360-градусное тета-перемещение может быть опционально заменено точным 10-градусным тета-перемещением.

Платформа микроскопа

Микроском базируется на массивном мосту, пролет которого равен ширине всей зондовой установки. Такая конструкция изолирует микроскоп ото всех других (в том числе движущихся) частей установки.

Мост позволяет проводить легкую замену микроскопов от самых простых ручных до автоматических с программируемым перемещением.

Стандартный микроскоп на PM5 имеет площадь перемещения 50х50 мм, но в то же время можно заказать микроскопы и с другими площадями перемещения.

Микроскоп может быть укомплектован ручным или пневматическим приводом вертикального перемещения, что обеспечивает легкий доступ к зондам и тестируемому прибору. Повторяемость позиции микроскопа +/- 1 микрон.

Все основные модели на рынке совместимы с зондовыми станциями Cascade.

Платформы микроскопа

Микроскопы

Аксессуары

Зонды: активные, пассивные, ВЧ, триаксиальные, коаксиальные, с низким сопротивлением.
Зондовые иглы: вольфрамовые, вольфрам-карбидные, палладиевые, с медным стержнем.
Зондовые платы: Cascade поддерживает всех основных производителей плат.
Ручные зондовые головки: контакт с контактной площадкой и внутренними схемами до 1 микрона.
Управляемые зондовые головки: для субмикронного тестирования, программируемые.
Защита SE1000: защита от света или электромагнитных волн.
Лазерный резчик: депассивирование, линии отреза, подрезка, отбив.
Насосы: Вакуум, давление или комбинации.
Стандартные держатели: от 4 до 6 дюймов (100- 150 мм), обычно делаются из нержавеющей стали.
Триаксиальные держатели: для измерений на низком сигнале.
Высокоизолированные держатели: для тестирования силовых чипов
Микроволновые держатели: разработаны для хрупких материалов III-IV и высокой стабильности при измерениях. Вспомогательные держатели для калибровки и шлифовки пластин.
Термические держатели: Доступны адаптеры для всех термических держателей.
Держатели для собранных приборов: вакуумом к поверхности держателя.
Приборы и аксессуары для держателей: быстро производятся для опускания подложки, установки выравнивающих штырьков или для тестирования с обратной стороны.
Поверхности держателей: Стандартная – из нержавеющей стали. Опционально – с золотым покрытием, тефлоновым, алюминиевым, никелированные.
Камера и мониторы: облегчает контакт с контактной площадкой или внутренними схемами.
Столы: антивибрационные столы.

Площадки зондовых головок

1. Платформа
2. Передвижение микроскопа
3. Мост микроскопа
4. Загрузочные полозья
5. Контейнер
6. Держатель
7. Основание
8. Платформа для зондов
9. Основание для зондов
10. Вакуумные выводы
11. Мост микроскопа
12. Передвижение микроскопа
13. Держатель микроскопа
14. Адаптер микроскопа
15. Микроскоп

Спецификации системы