Плазмохимическое осаждение диэлектриков из газовой фазы с помощью установки Corial D250
Corial D250 – установка осаждения диэлектриков. Эта PECVD -система предназначена для осаждения на подложки следующих пленок: SiO2, Si3N4, SixNy.
 |
Достоинства системы плазмохимического осаждения диэлектриков из газовой фазы:
|
Описание установки плазмохимического осаждения Corial D250
Камера нанесения основана на концепции высокотемпературного изотермического реактора, находящегося внутри вакуумной камеры. Во время процесса PECVD давление в вакуумной камере намного ниже, чем в реакторе. В результате не происходит загрязнения наносимой пленки диэлектриков кислородом от холодных стенок камеры.
Плазменный реактор имеет круглую форму диаметром 250 мм и позволяет располагать пластины диаметром до 200 мм (или 2 пластины по 100 мм). Газовый душ способствует высокоравномерному распылению газа на пластине. Используемые газы равномерно накачиваются вокруг подложкодержателя. Plasma Box окружен двумя нагревающими кабелями. ИК-рефлекторы позволяют избежать потери тепла. В результате подложкодержатель и реактор оказываются в печи с контролем температуры подложки ±1°C .
Включает в себя следующие части:
- Контроллер Eurotherm 2408 и термопара позволяют производить нагрев подложки до 325°C. Симметричный дизайн реактора позволяет проводить бомбардировку пластины ионами с достижением минимального стресса.
- Плазменный реактор изготовлен из алюминия, что позволяет избежать коррозии при травлении для чистки. Специальное окно позволяет использовать лазерный рефлектометр для определения скорости осаждения и толщины пленок.
- Насосную систему , которая включает :
- насос № 1: ALCATEL ADP 122 P со скоростью откачки 95 м3/ч,
- насос № 2 : ALCATEL турбомолекулярный (100 л/с) с продувкой ( N 2),
- набор клапанов для дополнительного вакуумного кольца защиты камеры в случае избыточного давления N 2 и чистки камеры травлением,
- измеритель высокого вакуума Penning ,
- измеритель вакуума T 2 0 - 2 Torr для контроля вакуума в реакторе и камере.
- Электронные контроллеры для проведения процесса
- Высоко- и низковольтные источники питания (220 VAC и 400 VAC ) и (5 V , +15 V , -15 V и +24 V ).
- Газовую панель с семью линиями (максимум 9 линий) для реактивных газов с расходомерами UNIT . Стандартные MFCs 50 sccm O 2 , 200 sccm SF 6 , 1000 sccm N 2 , 1000 sccm He , 500 sccm NH 3 , 500 sccm N 2 O и 100 sccm SiH 4 .
- 300 W 13.56 MHz охлаждаемый ВЧ-генератор.
- Программное обеспечение COSMA , работающее на LINUX , включающее в себя:
- автоматическое переключение между шагами в мультишаговых процессах в соответствии с сигналами от датчика окончания процесса или таймеров. Число шагов каждого процесса может достигать 300. Число самих процессов ограничено только пропускной способностью контроллера жесткого диска. Система проверяет все параметры и отображает на дисплее ошибки, которые могут происходить. Каждый шаг процесса находится под пристальным мониторингом и четко контролируется, что дает высокую воспроизводимость (повторяемость) процесса и его работоспособность. Частью пакета программного обеспечения является запись информации с возможностью дальнейшего просмотра параметров уже завершенных процессов.
- доступно четыре режима программы:
- редактирование для подгонки параметров или создания новых параметров для процессов,
- запуск процесса плазмохимического осаждения с его контролем в реальном времени и выводом всех параметров на дисплей,
- оптимизация для разработки новых процессов с помощью интерактивного контроля процесса и его редактирования,
- режим технического обслуживания для диагностики и калибровки системы.
- система поддерживает высокоскоростное Интернет-соединение, защищенное брандмауэром, а также соединение по VPN (виртуальной частной сети).
- Персональный компьютер под управлением ОС Windows , укомплектованный:
- процессором Intel Pentium ,
- 512 Мб ОЗУ и жеским диском,
- 17-дюймовым ЖК-монитором,
- мышкой и клавиатурой.
- Рамку и панель для оборудования.
Дополнительное оборудование
Автоматический лазерный датчик окончания процесса с CCD -камерой для наблюдения за лазером (O25 µм) и предмета травления. Он укомплектован линзами с кратностью увеличения более 100 раз. Датчик измеряет степень травления, толщину протравленной поверхности и определяет окончание процесса. Также датчик укомплектован специальной поверхностью, двигающуюся в двух направлениях для точного позиционирования лазера.
Технические требования для установки Corial D 250
- Электрообеспечение системы 400 B (±10%) 3 фазы + нейтраль + заземление / 7 КВА - 50 / 60 ГЦ.
- Электрообеспечение охладителя 240 B (±10%) 1 фаза + нейтраль + заземление / 7,5 КВА - 50 / 60 Hz .
* по умолчанию охладитель запитан от системы.
- ЭлектрообеспечениеПК 240 В или 110 В (±10%) 1 фаза + нейтраль / 0.8 КВА - 50 / 60 Гц.
- Электрообеспечение монитора 240 В или 110 В (±10%) 1 фаза + нейтраль / 0.4 КВА - 50 / 60 Гц
- Общее энергопотребление при работе: 10,3 КВт
- Общее энергопотребление при подготовке: 3,1 КВт
- Сухой и фильтрованный азот с регулятором от 0 до 3 атм. (Предоставляется заказчиком), полиамидный шланг O4/6 мм.
- Сжатый воздух > 7 атм., полиамидный шланг O4/6 mm
- Вытяжка ?10 м 3/ч, Через ПВХ DN 40 (Предоставляется заказчиком)
- Вытяжка для газа ?100 м 3/ч, Через ПВХ O80 mm (Опция)
- Газовые линии марки 316 L с клапанами и регуляторами от 0 до 3 атм. (Предоставляется заказчиком)
* Внимание: Для жидкостей ( SF 6 , CHF 3 , CF 4 , и т.д.) необходима установка двух регуляторов.
- Окончание линий O4/6 мм с коннектором VCR «мама»
- Чистота газов – для электронной промышленности
- Дополнительно : телефонная линия ADSL (опция для удаленного доступа)