Дополнительная информация:

Официальный сайт фирмы Evatec

 

Установки вакуумного напыления BAK 761 и BAK EVO

BAK761 - универсальная установка вакуумного напыления для широкого спектра приборов - таких, как силовые микросхемы, ПАВ-фильтры, металлизации обратной стороны, взрывных процессов на материалах III-V и др. Установка вакуумного напыления относительно небольшая, с оптимизированным выходом и небольшой занимаемой площадью. Также имеет дружественный интерфейс, отличную равномерность напыления, высокую надежность и достаточно гибка в конфигурировании.

В установку вакуумного напыления BAK 761 можно одновременно (в один цикл) класть различные материалы, предоставляется возможность подогрева/охлаждения подложек, установка купольной или планетарной системы крепления и движения подложек.

Характеристики установки вакуумного напыления

egun
Источники испарения: Термические, электронная пушка EBS 500 (с цифровым контролем и разными типами тиглей - с одним карманом, несколькими по кругу или линейными) для всех тпов материалов, индуктивно нагревающие источники для микроэлектроники, трубчатые, специальные для большого количества испаряемого материала.

Планетарная система Кнудсен это:

  • Высокая производительность машины
  • Лучшее осаждение (меньше потерь)
  • Нагрев пластин с обратной стороны
  • Низкая загрязняемость частицами
  • Легка в уходе с быстросъемными планетарными головками

Загрузка с планетарной системой держателей пластин типа Кнудсен:

  • 78 пластин по 4 дюйма
  • 48 пластин по 5 дюймов
  • 38 пластин по 6 дюймов
  • 15 пластин по 8 дюймов

Загрузка с купольной системой держателей пластин:

  • 40 пластин по 4 дюйма
  • 24 пластины по 5 дюймов
  • 20 пластин по 6 дюймов
  • 8 пластин по 8 дюймов

knudsen
khan
Система управления KHAN обладает дружественным интерфейсом управляет полностью автоматическим процессом производства, при этом удовлетворяя всем стандартам безопасности (SECS I / II, система оповещения, отслеживание процесса в реальном времени, статистика, сбор данных, периодичность обслуживания и т.д.)


Нагреватели подложек:

  • ИК-нагрев с обратной стороны или кварцевый с лицевой стороны
  • Ионный источник тлеющего разряда или оборудование RF-травления для очистки пластин на месте

Характеристики процесса:

  • Подвижная вращающаяся плата позволяет избежать перезагрязнения
  • Низкая тепловая нагрузка благодаря раздельным тиглям
  • Взрывной процесс для пластин до 6" за счет увеличенной дистанции до пластины
  • Стабильное облако испаряемого материала за счет программируемой лучевой зачистки
  • Лучшая воспроизводимость процессов

 

Установка вакуумного напыления BAK EVO с автоматической системой транспорта подложек
Контроллеры толщины и параметров процесса:
Разные типы кварцевых датчиков (одно- и многоголовочные системы), Sentinel III® спектроскоп - специально для лучшего управления совместного испарения (фазирование)
   

Оператор выгружает кассету из кассетной станции Шестистепенной робот (шесть степеней свободы) c системой захвата подложек
Вид спереди на автоматическую установку вакуумного напыления BAK EVO Устройство комбинированного захвата пластин за край и заднюю сторону
  • Двухкассетная станция с поворотным устройством для перевода пластин из вертикального (загрузка/выгрузка) в горизонтальное (транспортировка) положение
  • Шестистепенной (шесть степеней свободы) робот с тройным захватом
  • Краевой захват для ввода и вывода пластин в кассету
  • Захват с задней стороны для транспортировки пластин в купол и из купола
  • Специальный краевой захват для транспортировки купола из рабочую камеры и в камеру
  • Станция предвыравнивания для ориентации пластин
  • Транспорт пластин в условиях чистой комнаты
  • Полностью интегрированная в процесс система автоматической транспортировки пластин обеспечивает полную безопасность и удобство для оператора
 
Шестистепенной робот загружает купол с пластинами в камеру

 

 

Контакты | For partners (in English) © TBS - Technology & Business Solutions