Дополнительная информация:

Официальный сайт фирмы Evatec

 

 

Evatec

Фирма Evatec является преемником Balzers по производству и поставкам систем типа ВАК, используемых в полупроводниковом и оптических производствах при нанесении тонкопленочных материалов на подложки путем электронно-лучевого испарения и/или термального испарения.

В настоящее время выпускаются системы:

BAK 501

Система электронно-лучевого испарения, разработанная для лабораторий с уменьшенным объемом камеры

  • Система BAK501 разработана для нанесения покрытий на подложки методом электронно-лучевого (термического) испарения.
  • Внутри вакуумной камеры материал покрытия испаряется с помощью специального испарителя.
  • Материал покрытия в виде паров свободно перемещается через вакуумную камеру.
  • Поскольку процесс температурного испарения может производиться только в условиях высокого вакуума, BAK501 укомплектована таким оборудованием, как вакуумная камера, помпа высокого вакуума и станция предварительной откачки.
  • Пользователь управляет BAK501 с помощью клавишной панели и монитора, через графический интерфейс пользователя.
  • Cистемный контроллер KHAN XP BASIC управляет и полностью контролирует функционирование системы.

Подробнее о системе

BAK 641

Система для лабораторных исследований и производства пилотных партий

Основные преимущества:

  • Распределенная система ввода-вывода
  • Серверное компьютерное обеспечение
  • Занимает меньше места
  • Устойчивое электрообеспечение

Скачать презентацию системы (русский, 3,5 Мб, ppt)

BAK 761

Универсальная система – индустриальный стандарт в технологии напыления

BAK761 - универсальная установка испарения для широкого спектра приборов - таких, как силовые микросхемы, ПАВ-фильтры, металлизации обратной стороны, взрывных процессов на материалах III-V и др. Установка относительно небольшая, с оптимизированным выходом и небольшой занимаемой площадью. Также имеет дружественный интерфейс, отличную равномерность напыления, высокую надежность и достаточно гибка в конфигурировании.

Подробнее о системе

 

Контакты | For partners (in English) © TBS - Technology & Business Solutions