Ввиду существенного уменьшения размеров полупроводников, отрасль предъявляет все более и более жесткие требования к микроскопии. Операторы ждут от аппаратов не только надежности, удобства в обращении и эргономичности, но и разнообразия конструкций, отличных показателей по разрешающей способности изображения. Микроскоп Axiotron 2 сочетает в себе все это и даже больше.

Axiotron 2 - мощный и надежный микроскоп производства Carl Zeiss. Он изготавливается из алюминиевого и стального литья и не содержит недолговечных пластиковых элементов, за счет чего обеспечивается исключительная надежность аппарата и продолжительность его срока службы. Весь ряд высококлассных объективов от компании Carl Zeiss подходит для работы с различными методами контрастирования и режимами изображения, в том числе стандартными методами освещения светлого и темного поля в режимах от дифференциально-интерференционного контрастирования (DIC) до конфокального сканирования и режима УФ. Для дифференциально-интерференционного контрастирования (DIC) используется специально поляризованный свет, способный выявить мельчайшие различия высоты и текстуры гладких поверхностей. Режим конфокального сканирования CSM (подробнее данной технике - здесь), запатентованный компанией Carl Zeiss, увеличивает контрастность изображения путем устранения постороннего света за счет фокусирования на микроотверстиях вращающегося диска (диска Нипкова). Результат этого – максимально высокое разрешение, которое только можно получить при использовании видимого света. Кроме того, увеличивается глубина фокуса (от 0,6 до 4,7 мкм при использовании объектива 50х). С помощью кодирования высоты цветом в конфокальном режиме различные слои полупроводниковой пластины отображаются в разных цветах, от красного в нижних слоях до синего в верхних.

Надежность и удобство

Основа микроскопа Axiotron 2 – жесткий металлический штатив с элементами высокоточного производства, который позволяет обеспечить исключительную долговечность в работе и продолжительность эксплуатационных циклов. Бинокулярный тубус регулируется по высоте от 5 до 30 градусов и позволяет получить прямое, неперевернутое изображение. Это обеспечивает простоту настройки высоты окуляра и позволяет избежать переутомления оператора.

Все важные функции микроскопа контролируются с помощью эргономичной панели управления, которую можно размещать в любом удобном месте стола. Текущий метод увеличения и контрастирования отображается с помощью индикатора. При выборе режима увеличения или контрастирования оптимизированные настройки микроскопа, в частности, яркость лампы, апертура и положение поворотного анализатора, применяются автоматически.

Опция автофокусировки, устанавливаемая по желанию заказчика, делает Axiotron полностью автоматизированным, мощным смотровым микроскопом. Автофокусировка при помощи лазерного луча постоянно компенсирует всевозможные неровности пластины, даже при очень близком расположении пластины от объектива и резких перемещениях предметного столика.

Великолепное изображение одним движением пальца.

Выбор одного из пяти объективов осуществляется просто с помощью кнопки на панели управления. Повышенные возможности контрастности и разрешения оптики Carl Zeiss серии EC Epiplan-Neofluar выгодно отличают эти модели от других. Эти высококачественные объективы можно комбинировать с продуктами серии LD EC Epiplan-Neofluar с длинным фокусным расстоянием или с объективами высшего класса линейки EC Epiplan-Apochromat. Все эти типы объективов, включая длиннофокусные модели, могут работать по методу светлого и темного поля, дифференциально-интерференционного контраста.

Регулируемые окуляры на 10 позиций расстояния до глаз с обширным полем зрения в 25 мм настраиваются независимо друг от друга, что является неоспоримым преимуществом для операторов, которым для каждого глаза нужна отдельная настройка. Порт для камеры обеспечивает оптический интерфейс для широкого спектра видео- и фотокамер.

Конфокальная микроскопия в режиме реального времени в видимом спектре и УФ

Оснащенный тубусом конфокальной сканирующей микроскопии, Axiotron 2 позволяет в реальном времени производить наблюдения в конфокальном режиме в видимом или ультрафиолетовом спектре. Конфокальное изображение в режиме реального времени, полученное с помощью видимого (белого) света, и запатентованный компанией Zeiss элемент Chromat C позволяют получить многоцветное объемное изображение и увеличить глубину фокуса. Наблюдения при освещении на i-line (365 нм) с использованием ведущих в своем классе УФ объективов Epi-Ultrafluar возможно не только в светлом поле, но и в режиме конфокальной микроскопии. За счет практически полного подавления постороннего света получается чрезвычайно контрастное изображение.

Подробнее о микроскопе Axiotron 2 CSM VIS-UV

Трансформируемые модели

Широкий спектр способов применения Axiotron 2 требует соответствующей подсветки. Помимо стандартных галогеновых ламп предусмотрены дуговые лампы нескольких типов, в частности для работы при ультрафиолетовом и флуоресцентном освещении. Два источника света могут использоваться одновременно с помощью зеркал ручного или механизированного переключения.

Для перемещения предмета исследований предусмотрены ручной и механизированный предметные столики с держателями образцов и вакуумными держателями для полупроводниковых пластин до 8". Для проверки растра на специальном столике с нижней подсветкой предусмотрен держатель шаблонов 5",6" или 7".

С помощью аппарата Axiospeed можно подключить систему спектроскопических измерений, которая позволяет анализировать поверхность и отражающую способность слоя, и, в частности, измерять толщину тонких пленок в диапазоне от 10 нм до 10 мкм.

Функции автоматизации

Axiotron 2 работает на базе внутренней стандартизованной системы шин CAN, которая обеспечивает загрузку оптимизированных параметров всего микроскопа в целом, а также автофокусировки и функций предметного столика при выборе метода контрастов или увеличения. Кроме того, микроскопом можно управлять с помощью интерфейса RS232. Этот режим используется при совмещении Axiotron 2 с загрузчиком полупроводниковых пластин или при его интеграции в системы комплексной проверки или анализа, такие, как наша система Axiospect 201. В этих системах исключительные характеристики Axiotron 2 дополняются автоматической обработкой полупроводниковых пластин и их точным размещением.