|
Применяемые техники обзора:
- Светлое поле
- Темное поле
- DIC - интерфереционный контраст
- УФ-обзор (365 нм, 248 нм) в ярком поле
- Флюоресцентный обзор
- Поляризационная микроскопия
Преимущества:
- Полностью металлический корпус, подходит для чистых комнат
- Высококачественная оптика и механические компоненты
- 5-местная турель для объективов
- 4-местная турель для отражателей
- Правильное неинвертированное изображение
- Окуляры регулируются по высоте в диапазоне от 5 до 30 градусов
- Контроль через эргономичную панель управления с джойстиками
- Удаленный контроль через шину CAN, порт RS232
Дополнительные опции:
- Моторизованный привод по вертикали с 40-мм ходом
- Двухлучевой автофокус
- Версии для i-line (365 нм) и глубокого ультрафиолета (248 нм)
Подбнее о системе |
 |
- Диаметр отверстий сочетается с объективом 100x/0.95 наилучшим образом для превосходного контраста и глубины фокуса
- Трансляция изображения в реальном времени с усилением цветов в видимом спектре
- Максимальный контраст устранением света во всем спектре, за исключением i-line-спектра в фокусе
- Технология Chromat C, запатентованная компанией Carl Zeiss для обеспечения увеличенной глубины фокуса
- Оптимизирован для видимого спектра, а также для i-line спектра (365 нм)
- Набор УФ-объективов Carl Zeiss
Подробнее о системе |
 |
- Инспекция пластин до 200 мм диаметром
- SMIF- и не-SMIF совместима
- Подход к установке для ухода и контроля со всех сторон
- Сортировщик
- Перемещение пластин с краевым захватом, что обеспечивает отсутствие загрязнений обратной стороны полупроводниковой пластины, а также подходит для двусторонних MEMS-пластин
- Установка предварительного выравнивания с краевым захватом
- Высококлассные оптические микроскопы Carl Zeiss поддерживают все известные контрастные техники, включая конфокальный белый свет и ультрафиолетовый диапазон
- Инспекция в ближнем поле с равномерной ультра-яркой подсветкой
- Доступны несколько опций для метрологии, например, измерение толщины пленок
- Одна материнская платформа для ПО, подходящая к различным модулям и системам
Подробнее о системе |
 |
