Электростатический держатель пластин

Электростатический держатель пластин способен зафиксировать одновременно несколько чипов или кусочков пластин с помощью электростатических сил.

Такой держатель является чрезвычайно полезным в НИОКР, где работа над целой пластиной не всегда возможна.  Электростатическое крепление чипов  подходит для процессов скрайбирования МЭМС до травления в парах в плавикой кислоте.  Изменяя классическую последовательность изготовления МЭМС, становиться возможным изготовить МЭМС с очень мягкой подвеской.

Использовать  электростатический держатель очень просто. Чипы располагают на поверхности держателя пластин, при включении пультом управления, электростатическая сила прижимает чипы. Сила электростатического прижима может быть скорректирована.