Установка травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE
 |
Установка VPE состоит из реакционной камеры и крышки. Нагреваемый элемент встроен в крышку, он позволяет контролировать температуру подложки, которую будут травить. Устройство крепления пластин располагается в крышке, и бывает двух типов: - механическая фиксация с помощью зажимного кольца. Завинчивание осуществляется с задней стороны, которая не вступает в контакт с парами плавиковой кислоты. 3 гайки просты в обращении и защищены химически стойким покрытием. - электростатическая фиксация. Одиночные чипы, так же как и пластины прикрепляются к нагревательному элементу. Задняя сторона пластины защищена от травления. Плавиковая кислота заливается в реакционную камеру. Реакционная камера закрывается крышкой. Пар плавиковой кислоты образуется при комнатной температуре, и процесс травления начинается спонтанно. Скорость травления контролируется температурой пластины, пределы нагрева от 35 до 60 °C. После процесса кислота хранится в герметичном контейнере и может быть заново использована. Реакционная камера перекрывается двумя клапанами. Под воздействием силы тяжести, если клапан слива открыт, кислота из реакционной камеры поступает в контейнер. Перелить кислоту из контейнера обратно камеру очень просто, для этого есть специальная ручка. Чтобы заправить реакционную камеру, нужно открыть заливной клапан и поднять ручку. Установка VPE имеет небольшие размеры, ее легко расположить в любом помещении. |
 |
|
 |
|
 |