Lotus systems

Сушильный шкаф для изопропанола IPA-Dryer

Сушка пластин (до 300 пластин в час при загрузке двух кассет по 25 пластин)

Варианты загрузки:

• 2 х 25 пластин 6 дюймов
• 2 х 25 пластин 8 дюймов
• 1 х 25 пластин 6 дюймов
• 1 х 50 пластин 6 дюймов
• 1 х 50 пластин 8 дюймов
• 1 х 50 пластин 12 дюймов

Преимущества:

• Сушка без остаточных следов на поверхности
• Очень низкое потребление изопропанола
• Высокий уровень безопасности
• Низкое потребление электроэнергии и воды
• Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
• Минимальный уход
• Сенсорный дисплей
• Коммуникационный интерфейс со шкафами для "мокрой" химии

Шкафы для "мокрой" химии

• Раздельные ванны
• Очиститель перчаток
• Вакуумная пипетка
• Пистолет для деионизованной воды и азота
• Вертикальная загрузка кассеты с подложками
• Модуль вращения пластин
• Термостолики
• Центрифуги
• Горизонтальный очиститель в виде трубы

Полуавтоматическая установка химической обработки Mini-Gemenex

Процессы:

• Отмывка пластин
• Снятие резиста
• "Мокрое" травление (нитридов, SiO2, Si)

Производительность до 150 пластин в час (зависит от конфигурации)

Варианты загрузки:

• 2 х 25 пластин 6 дюймов
• 1 х 25 пластин 6 дюймов
• 1 х 25 пластин 8 дюймов
• 1 х 25 пластин 8 дюймов

Преимущества:

• Низкая стоимость эксплуатации
• Оптимизированные потоки в ваннах
• Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
• Минимальный уход
• Малая занимаемая площадь
• Сенсорный дисплей для управления
• Удаленный доступ по TCP/ IP или модему
• Хранение истории процессов и их параметров
• Отмыв мегазвуком
• Дозирование твердых субстанций, таких, как APS (Пероксидисульфат аммиака)

Автоматическая установка химической обработки Gemenex

Процессы:

• Отмывка пластин
• Снятие резиста
• "Мокрое" травление (нитридов, SiO2, Si)
• Сушка (встроенный изопропаноловая сушка)

Производительность до 300 пластин в час (зависит от конфигурации)

Варианты загрузки:

• 2 х 25 пластин 6 дюймов
• 2 х 25 пластин 8 дюймов
• 1 х 50 пластин 8 дюймов
• 1 х 50 пластин 12 дюймов

Преимущества:

• Процесс оптимизируется по текстуре
• Низкая стоимость эксплуатации
• Оптимизированные потоки в ваннах
• Система сущки с минимальными требованиями расходных материалов
• Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
• Минимальный уход
• Малая занимаемая площадь
• Сенсорный дисплей для управления
• Удаленный доступ по TCP/ IP или модему
• Хранение истории процессов и их параметров
• Отмыв мегазвуком
• Загрузочный порт для SMIF-контейнеров

Вытяжные шкафы

• Раздельные ванны
• Очиститель перчаток
• Вакуумная пипетка
• Пистолет для деионизованной воды и азота
• Вертикальная загрузка кассеты с подложками
• Облегченное перемещение кассет с подложками
• Модуль вращения пластин
• Термостолики
• Центрифуги
• Горизонтальный очиститель в виде трубы