Установка проявления полупроводниковых пластин Sawatec LRD250

Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй.

Возможности установки проявления:

• Сенсорный дисплей
• До 50 рецептов по 24 шага в каждом
• Закрытая чаша для проявления
• Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
• Возможность подогрева проявителя
• Подающая рука с электрическим приводом
• До 4 подающих линий под разные проявители
• На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
• Механический зажим подложек
• Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
• Два варианта - в напольном столике или для встраивания

Опции:

• Дополнительные линии для проявителей (до четырех)
• Система подогрева проявителей
• Сопла из пластика от 0,3 до 0,8 мм
• Сопла из нержавеющей стали от 0,3 до 0,8 мм

Параметры процессов:

• Скорость до 3000 об/мин
• Ускорение 160 об/мин/сек2

Требования по подключению:

• 240 В переменного тока 50/60 Гц, 16А
• Сжатый воздух (6 бар)
• Азот (4 бара)
• Деионизированная вода (3 бара)
• Вытяжкка диам. 76 мм (40-60 м3/ч)

Размеры и вес:

• 850х750х1320 мм
• 130 кг