Sawatec

Sawatec - швейцарская инженерная компания, занимающаяся полупроводниковыми и оптическими системами.

Кроме этого, продукция компани включает решения для системных интеграторов репликационных систем для CD-R и DVD, для оборудования исследовательских лабораторий, НИИ и пилотных проектов в полупроводниковой промышленности.

В ассортимен продукции фирмы Sawatec входят центрифуги для нанесения и сушки фоторезиста, а также нагреватели

Центрифуга SM-180

Небольшие лабораторные центрифуги. Выпускаются как в собственном корпусе, так и для монтажа в уже имеющийся у пользователя столик

Возможности системы:

Центрифуга оптимизирована для университетов, лабораторий и пилотных проектов
Позволяет обрабатывать подложки до 150 мм диаметром
Возможен как вакуумный зажим подложки, так и механический
Легкая замена столика без использования специальных приспособлений
Чаша сделана разборной для легкой очистки
Дисплей с полным контролем процесса
Возможно устанавливать до 24 пар установок скорость/время
Контроллер с возможностью запоминания до 50 рецептов
Крышка, закрываемая вручную, сделана из полиэтилена. Турбулентными потоками воздуха можно управлять для изменения профиля нанесения резиста.
Чаша сделана из полиоксиметилена (POM), возможно производство и из другого материала по дополнительному запросу (например, нержавеющей стали или анодированного алюмния)

Подробнее о системе

Центрифуги серии LSM

Центрифуги LSM 250/300/600. Нанесение на пластины 200/300/600мм

Каждая центрифуга может быть выпущена в двух версиях - для монтажа в стойку пользователя или в собственном столике, выполненном из пластика или нержавеющей стали (по запросу)

Возможности серии LSM:

Ручная загрузка подложек
Обрабатывает пластины до 8"/6"x6" (LSM-250), 12"/8"x8" (LSM-300) и до 600 мм (LSM-600)
Легкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов
Блок для процессов сделан модульным, что позволяет легко проводить очистку
Автоматическая подающая система с дозирующей помпой для плотностей до 800 сантипуаз (опционально до 50'000 сантипуаз) или картриджная система (на выбор)
Автоматическое распознавание размера держателя с автоматическим ограничением скорости вращения
Дозирующая рука либо с пневмоприводом (два положения - нанесение и парковка), либо с электроприводом (программируемое положение)
Сенсорный дисплей 5,7" с логическим контролем
Контроллер процесса с возможностью запоминания до 10 рецептов
Один рецепт может программироваться до 10 пар значений скорость/время
Безщеточный сервомоторор до 6'000 об/мин

Подробнее о системах LSM

Система проявления LRD-250

Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй

Возможности установки проявления:

Сенсорный дисплей
До 50 рецептов по 24 шага в каждом
Закрытая чаша для проявления
Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
Возможность подогрева проявителя
Подающая рука с электрическим приводом
До 4 подающих линий под разные проявители
На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
Механический зажим подложек
Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
Два варианта - в напольном столике или для встраивания

Подробнее об установке проявления

Комбинированная система нанесения и задубливания резиста

Модульная установка для нанесения и задубливания резиста в одном напольном столике из нержавеющей стали.

Удобная установка для использования в пилотных производствах и в образовательных учреждениях. Благодаря модульности конструкции установка комплектуется любыми стандартными устройствами из модельного ряда Sawatec (например, популярный в России вариант SM-180+HP200, или SM-180+HP200-Z-HMDS или LSM-250+HP200-Z-HMDS и т.п.)

Технические характеристики см. в описаниях соответствующих модулей:

Термостолик HP 150

Небольшие температурные камеры в базовой конфигурации. Применяется термический столик для сушки фоторезиста, сушки эпоксидных покрытий, а также для любых других работ, требующих точную температуру

Возможности:

Практичный дизайн, алюминиевый корпус
Максимальная температура нагрева 250°С
Загрузка подложки вручную
Цифровые установки и отображение температуры
Фиксация подложки вакуумом в центре столика
Встроенный вентилятор обеспечивает обдув воздухом и вывод паров во внешнюю вытяжку
Три винта сверху позволяют выровнять термостолик по уровню
Крышка с уплотнениями
Опционально - напуск азота под крышку

Подробнее о системе

Термостолики серии HP 200 (HP 200, HP 200-Z-HMDS)

Небольшие температурные камеры с расширенной конфигурацией. Имеются встриваемые, настольные и напольные версии

Возможности:

Практичный дизайн, алюминиевый корпус
Максимальная температура нагрева 250°С
Высота загрузки подложки 15 мм
Цифровые установки и отображение температуры сверху
Пневматический привод крышки
Загрузочные и зазорные керамические штырьки для улучшенной равномерности нагрева
Опционально - охлаждение (Версия Z)
Опционально - подача праймера ГМДС под крышку (Версия HMDS), создание вакуума и/или напуск азота