Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Кластерная система SAWATEC CS-200-4 sirius

Швейцария
  • картинка

Кластерные системы SAWATEC являются идеальным решением для полностью автоматизированных процессов с кассетной загрузкой и выгрузкой

Производитель: Sawatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Высокая производительность и низкие эксплуатационные расходы, быстрая амортизация
  • Надежные технологические инструменты, простота обслуживания и незначительный простой
  • Подложки размером до 200 мм (8”)
  • Гибкие конфигурации технологического модуля на базе операционной системы Linux
  • Простота управления с 15-дюймовым сенсорным экраном
  • Автоматическое определение полупроводниковой пластины в кассете
  • Компактная конструкция и минимальные требования по размещению
  • Легкая чистка
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Кластерные системы SAWATEC являются идеальным решением для полностью автоматизированных процессов с кассетной загрузкой и выгрузкой. Модульная линейка CS состоит из системы оптического предварительного совмещения и трех станций гибкой конфигурации, которые можно оборудовать рядом необходимых инструментов. Компания SAWATEC разработала системы с соответствующими конфигурациями для процессов со стандартными шагами.

Система
CS-200-4 sirius
CS-200-4 pioneer
CS-300-4 explorer
CS-300-4 orbiter
Станция 1
SM-200
iSPRAY-200
SM-300
iSPRAY-300
Станция 2
SMD-200/ -E
SMD-200/ -E
SMD-300/ -E
SMD-300/ - E
Станция 3
Stacked HP-200
Stacked HP-200
Stacked HP-300 Stacked HP-300

Благодаря гибкой модульной конструкции с автоматической загрузочной станцией кластерная система позволяет пользователю решать индивидуальные, специфические задачи в производстве (линейка Challenger).

15-дюймовый сенсорный экран управления Sawatec CS-200-4 pioneer.jpg
Высокоскоростной робот Sawatec CS-200-4 pioneer.jpg
15-дюймовый сенсорный экран управления
Высокоскоростной робот


Конструкция шкафа

  • Шкаф из нержавеющей стали предназначен для использования в условиях чистой комнаты
  • Прозрачные со всех сторон дверцы для наблюдения за процессом
  • Расположенный в центре высокоскоростной робот с тремя степенями подвижности и интеллектуальным концевым захватом
  • Станция оптического предварительного совмещения
  • Все модули легкодоступны для обслуживания и ремонта
  • Станция загрузки (2 носителя) с переходником для универсального дизайна для кассет различных типов
  • Ручное управление вытяжкой для каждого модуля
  • Индикаторы процесса: зеленый, оранжевый и красный
           
Станция предварительного совмещения Sawatec CS-200-4 pioneer.jpg    Станция предварительного совмещения Sawatec CS-200-4 pioneer.jpg
Станция предварительного совмещения

Загрузочная станция Sawatec CS-200-4 pioneer.jpg    Загрузочная станция Sawatec CS-200-4 pioneer.jpg
Загрузочная станция

Станция 1: Центрифуга SM-200, 1 шт.


Центрифуги компании SAWATEC используются для подложек с очень низкими поверхностными структурами или без них. Устройства линейки SM являются оптимальным выбором для процессов нанесения тонких слоев. Все коммерческие фоторезисты наносятся на поверхность однородно и равномерно. Держатели различных конфигураций обеспечивают высокую гибкость в выборе подложек.

Характеристики (базовая конфигурация):

  • Закрытая рабочая камера из ПЭТФ (чаша и защитное кольцо)
  • Система RCCT (технология круглой закрытой камеры)
  • Функция нанесения с автоматической остановкой на краю поверхности нанесения (система с камерой)
  • Фиксация подложек с помощью вакуума и защитная блокировка
  • Высокодинамический, прямой сервопривод переменного тока
  • Скорость вращения до 6’000 об/мин. +/-1 об/мин. (опционно 10’000)
  • Программируемая рука с электроприводом для статического или динамического распыления
  • Распыляющая рука с 1 линией (возможно подключение до 4 линий)
  • Дозирующий насос SAWATEC с электроприводом GSP-98 до 3000 cps
  • Подача материалов из резервуаров
  • Сливной резервуар из полипропилена с датчиком переполнения
  • Комплект вакуумного держателя для подложек 200 мм (8”)

Дополнительные функции (опции):

  • Узел чаши изготовлен из анодированного алюминия
  • Удаление наплывов резиста с верхнего края (круговое и линейное)
  • Автоматическая очистка форсунки в исходном положении

Sawatec CS-200-4 sirius удаление наплывов резиста с края (круговое и линейное).jpg   Sawatec CS-200-4 sirius автоматическая очистка форсунки.jpg
  Sawatec CS-200-4 sirius Подача материала из резервуаров.jpg
Удаление наплывов резиста с края (круговое и линейное)
  Автоматическая очистка форсунки   Подача материала из резервуаров

Станция 2: Модуль проявления SMD-200 / проявления и травления SMD-200-E


Проявление экспонированного резиста является одним из наиболее важных шагов процесса, поэтому необходимо уделить особое внимание выбору процесса проявления и его параметров. Установки проявления SMD демонстрируют чрезвычайную убедительность благодаря высокой производительности, низкому расходу материалов, а также надежной стабильности даже при работе с толстопленочными резистами.
Линейка систем SMD предназначена для чистки, проявления и травления.

Характеристики (базовая конфигурация):

  • Закрытая технологическая камера для безопасности процессов, изготовленная из полипропилена (SMD) или нержавеющей стали (SMD-E)
  • Узел чаши для обработки подложек размером до 200 мм, нагреваемый колпак (до 50°C)
  • Скорость вращения макс. 3’000 об/мин. +/-1 об/мин. (в зависимости от веса и размера подложки)
  • Распыляющий манипулятор с электроприводом с динамической или статической функцией
  • Линия подачи проявителя и один резервуар для материала в комплекте
  • Форсунка для промывки деионизированной водой и сушки N2 на манипуляторе
  • Механическая фиксация подложек, различные держатели

Дополнительные функции (опции):

  • Дополнительные линии для проявителя (возможность подключения до 4 линий)
  • Два подающих манипулятора с линиями для материалов
  • Система подогрева резервуаров с проявителем (2 л)
  • Форсунки разных размеров и из различных материалов (ПЭЭК или нержавеющая сталь 0,3 / 0,5 / 0,8 мм)
Sawatec CS-200-4 pioneer Модуль проявления SMD-200.jpg
  Sawatec CS-200-4 pioneer Модуль проявления SMD-200-E.jpg
  Sawatec CS-200-4 pioneer Механический держатель.jpg
Механический держатель
Модуль проявления SMD-200
  Модуль проявления SMD-200-E
   

Станция 3: Сборный модуль из трех нагревательных столов HP-200 и одного охлаждающего стола CP-200


Устройства линейки HP обеспечивают высокий уровень равномерности и  высокий уровень повторяемости. Заданная температура и температурный профиль имеют узкие пределы, что позволяет добиться высокого качества покрытия.

Характеристики (базовая конфигурация):

  • Максимальная температура нагревательного стола 250°C (равномерность +/-0.5°C при 100 °C)
  • Автоматическое ограничение температуры, нет перегрева
  • Диаметр поверхности нагревательного и охлаждающего стола 250 мм, подходит для обработки подложек размером 8”
  • Программируемый зазор и загрузочные/разгрузочные штифты (шаг 8 мм)
  • Зазор штифтов с тонкой настройкой с шагом 0,1 мм
  • Фиксация подложек с помощью вакуума
  • Простое ручное выравнивание нагревательных и охлаждающих столов позволяет избежать вытравления фоторезиста

Дополнительные функции (опции):

  • Продувка N2 с программным управлением, отсутствие окисления
  • Праймирование ГМДС с программным управлением, оптимизированное сцепление
  • Охлаждающий стол расположен рядом с нагревательным (1 дополнительный стол HP-200 для увеличения производительности)
  • Внешний чиллер, температура регулируется системной платой
Sawatec CS-200-4 pioneer Сборный модуль из трех нагревательных столов HP-200.jpg
  Sawatec CS-200-4 pioneer Охлаждающий стол возле сборных нагревательных столов (Опция).jpg
Сборный модуль из трех нагревательных столов HP-200
  Опция: Охлаждающий стол возле сборных нагревательных столов

Продолжительность обработки и производительность в день


Эффективная производительность зависит от конкретных параметров процесса клиента.

Sawatec CS-200-4 pioneer Продолжительность обработки и производительность в день.jpg

Пример ежедневной продолжительности производства (принято 20 часов; 72’000 сек.)

Процесс
Мoдуль
Время обработки
вкл. перемещение (сек.) 
Выход/день
(шт. пластин)
Нанесение
SM-200
70
1’028
Проявление
SMD-200
90
800
Первая сушка
HP-200 (3 шт.)
(130) 43.33
(553) 1’661

Требования к подключению
Напряжение
3x400 VAC (380 VAC) Ph 0 50/60Hz 32A
Вакуум
-0.8 bar +/-0.2 bar, трубка Ø 8/6 мм
Сжатый воздух
6 bar, трубка Ø 8/6 мм
Азот
4 bar, трубка Ø 8/6 мм
DI-вода
1-2 bar, трубка Ø 8/6 мм
Охлаждающая вода
2 шт. IN / OUT чиллер, Ø 8/6 мм
Вытяжка
3 шт. Ø 150 мм (80-120м3/ч)
Габариты
Шкаф (без блока вентилятора фильтра)
примерно 1400 мм x 1400 мм x 2000 мм (Д x Ш x В)
Вес
примерно 600 кг

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх