Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Автоматизированная система оптического контроля сторон пластины ODIN

Германия
  • картинка

Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения

Производитель: HSEB
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Высокая производительность дополняется исключительной чувствительностью
  • Легкие в создании и использовании рецепты
  • 100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов
  • Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки
  • Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR
  • Чувствительность 1 мкм при скорости работы до 80 пластин/час.
  • Осмотр и выявление дефектов пластин: одновременно фронтальная и тыльная стороны, а также осмотр кромки без потери производительности
  • Наилучшее в своем классе соотношение качества и стоимости обслуживания
  • Анализ дефектов с помощью встроенного микроскопа Carl Zeiss
  • Технологии отображения дефектов HSEB IP для отбора качественных продуктов
  • Усовершенствованная метрология подложки, 2D/3D, наложение изображений и анализ снятия краевого валика (EBR)
  • Дополнительно: функция сортировки, мостовые перемычки, манипуляторы для толстых и тонких пластин
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения.

Возможности применения


Новейшая универсальная система макро-инспекции

Осмотр пластин-min.png
  Выявление дефектов по технологии HSEB.png
  Контроль разнооттеночност и по технологии HSEB.png
  Результат в формате KLA.png
  Встроенное изображение.jpg
осмотр пластин
  выявление
дефектов по технологии HSEB
  контроль разнооттеночност и по технологии HSEB
  результат в формате KLA
  встроенное изображение

Каждый запуск системы ODIN дает результат в виде нескольких отчетов и изображений, позволяющих получить полную картину образца со всех сторон. Все приведенные выше изображения получены за один осмотр единственного образца.

Инспекция после проявления

ИНСПЕКЦИ Я ПОСЛЕ ПРОЯВЛЕНИЯ.jpg     Инспекция после проявления HSEB.png
  Обнаружение дефектов после х.-м. полировки

ОБНАРУЖЕНИЕ ДЕФЕКТОВ ПОСЛЕ Х.-М. ПОЛИРОВКИ.jpg      ОБНАРУЖЕНИЕ ДЕФЕКТОВ ПОСЛЕ Х.-М. ПОЛИРОВКИ.png   
Дефект в виде кометы - пример автоматически выявляемых дефектов.  
Новейшие биннинговые алгоритмы позволяют выявлять дефекты после х.-м. полировки размерами до 1 мкм.

Встроенная метрология


ВСТРОЕННАЯ МЕТРОЛОГИЯ.jpg    ВСТРОЕННАЯ МЕТРОЛОГИЯ HSEB ODIN.jpg
  Запатентованная технология инспекции в режиме True Color

HSEB ODIN.png      ЗАПАТЕНТОВАННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИНСПЕКЦИИ В РЕЖИМЕ TRUE COLOR.jpg   

Встроенная метрология: функции CD, наложения и 3D дают возможность сложных измерений геометрии типа PI, UBM, Bump и CuP.
 
Технология параллельного многоканального анализа в режиме True Color от HSEB имеет неоспоримые преимущества перед обычными методами монохромного выявления дефектов.
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх