Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Киевская, 7
|
Автоматизированная система оптического контроля сторон пластины ODIN
Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения
Производитель: HSEB
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Высокая производительность дополняется исключительной чувствительностью
- Легкие в создании и использовании рецепты
- 100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов
- Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки
- Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR
- Чувствительность 1 мкм при скорости работы до 80 пластин/час.
- Осмотр и выявление дефектов пластин: одновременно фронтальная и тыльная стороны, а также осмотр кромки без потери производительности
- Наилучшее в своем классе соотношение качества и стоимости обслуживания
- Анализ дефектов с помощью встроенного микроскопа Carl Zeiss
- Технологии отображения дефектов HSEB IP для отбора качественных продуктов
- Усовершенствованная метрология подложки, 2D/3D, наложение изображений и анализ снятия краевого валика (EBR)
- Дополнительно: функция сортировки, мостовые перемычки, манипуляторы для толстых и тонких пластин
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения.
Новейшая универсальная система макро-инспекции
Каждый запуск системы ODIN дает результат в виде нескольких отчетов и изображений, позволяющих получить полную картину образца со всех сторон. Все приведенные выше изображения получены за один осмотр единственного образца.
Возможности применения
Новейшая универсальная система макро-инспекции
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
||||
осмотр пластин |
выявление дефектов по технологии HSEB |
контроль разнооттеночност и по технологии HSEB |
результат в формате KLA |
встроенное изображение |
Каждый запуск системы ODIN дает результат в виде нескольких отчетов и изображений, позволяющих получить полную картину образца со всех сторон. Все приведенные выше изображения получены за один осмотр единственного образца.
Инспекция после проявления![]() ![]() |
Обнаружение дефектов после х.-м. полировки![]() ![]() |
|
Дефект в виде кометы - пример автоматически выявляемых дефектов. |
Новейшие биннинговые алгоритмы позволяют выявлять дефекты после х.-м. полировки размерами до 1 мкм. |
Встроенная метрология![]() ![]() |
Запатентованная технология инспекции в режиме True Color![]() ![]() |
|
Встроенная метрология: функции CD, наложения и 3D дают возможность сложных измерений геометрии типа PI, UBM, Bump и CuP. |
Технология параллельного многоканального анализа в режиме True Color от HSEB имеет неоспоримые преимущества перед обычными методами монохромного выявления дефектов. |