Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Автоматизированная система оптического контроля сторон пластины ODIN

Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения

Производитель: HSEB
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • Высокая производительность дополняется исключительной чувствительностью
  • Легкие в создании и использовании рецепты
  • 100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов
  • Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки
  • Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR
  • Чувствительность 1 мкм при скорости работы до 80 пластин/час.
  • Осмотр и выявление дефектов пластин: одновременно фронтальная и тыльная стороны, а также осмотр кромки без потери производительности
  • Наилучшее в своем классе соотношение качества и стоимости обслуживания
  • Анализ дефектов с помощью встроенного микроскопа Carl Zeiss
  • Технологии отображения дефектов HSEB IP для отбора качественных продуктов
  • Усовершенствованная метрология подложки, 2D/3D, наложение изображений и анализ снятия краевого валика (EBR)
  • Дополнительно: функция сортировки, мостовые перемычки, манипуляторы для толстых и тонких пластин

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения.

Возможности применения


Новейшая универсальная система макро-инспекции

Осмотр пластин-min.png
  Выявление дефектов по технологии HSEB.png
  Контроль разнооттеночност и по технологии HSEB.png
  Результат в формате KLA.png
  Встроенное изображение.jpg
осмотр пластин
  выявление
дефектов по технологии HSEB
  контроль разнооттеночност и по технологии HSEB
  результат в формате KLA
  встроенное изображение

Каждый запуск системы ODIN дает результат в виде нескольких отчетов и изображений, позволяющих получить полную картину образца со всех сторон. Все приведенные выше изображения получены за один осмотр единственного образца.

Инспекция после проявления

ИНСПЕКЦИ Я ПОСЛЕ ПРОЯВЛЕНИЯ.jpg     Инспекция после проявления HSEB.png
  Обнаружение дефектов после х.-м. полировки

ОБНАРУЖЕНИЕ ДЕФЕКТОВ ПОСЛЕ Х.-М. ПОЛИРОВКИ.jpg      ОБНАРУЖЕНИЕ ДЕФЕКТОВ ПОСЛЕ Х.-М. ПОЛИРОВКИ.png   
Дефект в виде кометы - пример автоматически выявляемых дефектов.  
Новейшие биннинговые алгоритмы позволяют выявлять дефекты после х.-м. полировки размерами до 1 мкм.

Встроенная метрология


ВСТРОЕННАЯ МЕТРОЛОГИЯ.jpg    ВСТРОЕННАЯ МЕТРОЛОГИЯ HSEB ODIN.jpg
  Запатентованная технология инспекции в режиме True Color

HSEB ODIN.png      ЗАПАТЕНТОВАННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИНСПЕКЦИИ В РЕЖИМЕ TRUE COLOR.jpg   

Встроенная метрология: функции CD, наложения и 3D дают возможность сложных измерений геометрии типа PI, UBM, Bump и CuP.
 
Технология параллельного многоканального анализа в режиме True Color от HSEB имеет неоспоримые преимущества перед обычными методами монохромного выявления дефектов.


Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования odin


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования odin
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх