Автоматизированная система оптического контроля сторон пластины ODIN

Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения

Производитель: HSEB

Страна-производитель: Германия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Высокая производительность дополняется исключительной чувствительностью
Легкие в создании и использовании рецепты
100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов
Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки
Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR
Чувствительность 1 мкм при скорости работы до 80 пластин/час.
Осмотр и выявление дефектов пластин: одновременно фронтальная и тыльная стороны, а также осмотр кромки без потери производительности
Наилучшее в своем классе соотношение качества и стоимости обслуживания
Анализ дефектов с помощью встроенного микроскопа Carl Zeiss
Технологии отображения дефектов HSEB IP для отбора качественных продуктов
Усовершенствованная метрология подложки, 2D/3D, наложение изображений и анализ снятия краевого валика (EBR)
Дополнительно: функция сортировки, мостовые перемычки, манипуляторы для толстых и тонких пластин

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Возможности применения

Новейшая универсальная система макро-инспекции


осмотр пластин		выявление дефектов по технологии HSEB		контроль разнооттеночност и по технологии HSEB		результат в формате KLA		встроенное изображение

Каждый запуск системы ODIN дает результат в виде нескольких отчетов и изображений, позволяющих получить полную картину образца со всех сторон. Все приведенные выше изображения получены за один осмотр единственного образца.

Инспекция после проявления		Обнаружение дефектов после х.-м. полировки
Дефект в виде кометы - пример автоматически выявляемых дефектов.		Новейшие биннинговые алгоритмы позволяют выявлять дефекты после х.-м. полировки размерами до 1 мкм.

Встроенная метрология		Запатентованная технология инспекции в режиме True Color
Встроенная метрология: функции CD, наложения и 3D дают возможность сложных измерений геометрии типа PI, UBM, Bump и CuP.		Технология параллельного многоканального анализа в режиме True Color от HSEB имеет неоспоримые преимущества перед обычными методами монохромного выявления дефектов.

Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования odin

Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования odin