Автоматизированная система оптического контроля сторон пластины ODIN

Новейшая система полностью автоматизированного оптического контроля (AOI) фронтальной и тыльной сторон устройства. Лучшие в своем классе производительность и чувствительность при малой стоимости обслуживания. Интегрированные функции оптического контроля и измерения

Производитель: HSEB

Страна производитель: Германия

Основные возможности:

Высокая производительность дополняется исключительной чувствительностью
Легкие в создании и использовании рецепты
100% осмотр поверхности, выделенной области, а также осмотр одиночных чипов и частей кристаллов
Новейшие измерительные программы в расширенном комплекте поставки
Высокая вариативность при модульной совместимости с системами WOTAN и THOR
Чувствительность 1 мкм при скорости работы до 80 пластин/час.
Осмотр и выявление дефектов пластин: одновременно фронтальная и тыльная стороны, а также осмотр кромки без потери производительности
Наилучшее в своем классе соотношение качества и стоимости обслуживания
Анализ дефектов с помощью встроенного микроскопа Carl Zeiss
Технологии отображения дефектов HSEB IP для отбора качественных продуктов
Усовершенствованная метрология подложки, 2D/3D, наложение изображений и анализ снятия краевого валика (EBR)
Дополнительно: функция сортировки, мостовые перемычки, манипуляторы для толстых и тонких пластин

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Возможности применения

Новейшая универсальная система макро-инспекции


осмотр пластин		выявление дефектов по технологии HSEB		контроль разнооттеночност и по технологии HSEB		результат в формате KLA		встроенное изображение

Каждый запуск системы ODIN дает результат в виде нескольких отчетов и изображений, позволяющих получить полную картину образца со всех сторон. Все приведенные выше изображения получены за один осмотр единственного образца.

Инспекция после проявления		Обнаружение дефектов после х.-м. полировки
Дефект в виде кометы - пример автоматически выявляемых дефектов.		Новейшие биннинговые алгоритмы позволяют выявлять дефекты после х.-м. полировки размерами до 1 мкм.

Встроенная метрология		Запатентованная технология инспекции в режиме True Color
Встроенная метрология: функции CD, наложения и 3D дают возможность сложных измерений геометрии типа PI, UBM, Bump и CuP.		Технология параллельного многоканального анализа в режиме True Color от HSEB имеет неоспоримые преимущества перед обычными методами монохромного выявления дефектов.