Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система эллипсометрического измерения толщины пленки SCREEN RE-3100/3300

Япония
  • картинка

Система эллипсометрического измерения толщины пленки RE-3100/3300. Данные системы предназначены для использования с полупроводниковыми пластинами 100/150/200/300 мм. Каждая система оснащена спектроскопическим эллипсометром. Модели серии RE объединяют в себе спектральный рефлектометр и одночастотные эллипсометры, что позволяет использовать необходимый метод измерения для каждой конкретной пленки

Производитель: SCREEN
Страна производитель: Япония

Основные возможности:

  • Измерение пленки толщиной от 0 нм до 3 мкм
  • Измерение толщины многослойных пленок.
  • Анализ шероховатости поверхности.
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Серия RE включает в себя профессиональные модели линейки  Lambda Ace. Данные системы предназначены для использования с полупроводниковыми пластинами  100/150/200/300 мм. Каждая система оснащена  спектроскопическим эллипсометром.

Модели серии RE объединяют в себе спектральный рефлектометры одночастотные эллипсометры, что позволяет использовать необходимый метод измерения для каждой конкретной пленки.

Кроме того, модели серии имеют функцию удаления органического материала и управления нагрузкой, благодаря чему системы можно использовать с различными материалами.

Установка RE-3300 расширяет границы измерений в пределах длин волн. Добавлена возможность создания новых рецептов и использования ПО для анализа.

Конфигурации системы



Спектроскопический рефлектометр

Спектроскопический эллипсометр

Спектрометрический эллипсометр

Распознавание образца

RE-3100

O

O

O

O

RE-3300

O

-

O

O

Характеристики

 

RE- 100                                                                         

RE-3300                                        

Размер пластины

ø100 мм,  ø150 мм,  ø200 мм,  ø300 мм

Функция

Пользовательское определение программ измерения толщины пленки. Статистическая обработка данных измерения.

Спектроскопический рефлектометр

Измерение пленки толщиной 10 нм или толще. Измерение толщины многослойных пленок. (Максимум 9 слоев. Максимум 4 слоя для одновременного измерения).

Одночастотный эллипсометр

Измерение пленок толщиной 0-60 нм

                                        

Спектроскопический эллипсометр

Измерение толщины от 0 до 1 мкм,   оптическая константа (коэффициент преломления, коэффициент поглощения.) Измерение многослойных пленок (максимум 9 слоев, максимум 4 слоя для одновременного измерения). Анализ шероховатости поверхности.

Измерение толщины от 0 до 3 мкм, оптическая константа (коэффициент преломления, коэффициент поглощения). Измерение многослойных пленок (максимум 12 слоев. Максимум 8 слоев для одновременного измерения). Анализ шероховатости поверхности.

Размер пятна

 

 

Спектроскопический рефлектометр 

ø20 мкм,  ø10 мкм,  ø5 мкм,  ø2 мкм (опция)

ø10 мкм, источник УФ-подсветки  ø 13.4 мкм

Одночастотный эллипсометр  

40 мкм

Спектроскопический эллипсометр

ø3.00 мм

ø3.00 мм х ø6.00 мм (60 градусов)

Диапазон измерения

 

 

Спектроскопический эллипсометр

от 10 нм до 20 мкм

от 10 нм до 20 мкм,  источник УФ-подсветки;   от 0 нм до 20 мкм  

Одночастотный эллипсометр

от 0 до 60 нм

 

Спектроскопический эллипсометр

от 0 до  1 мкм

от 0 до  3 мкм

Длина волны измерения

 

 

Спектроскопический рефлектометр

 от 400 нм 800 нм

от 400 нм до 800 нм ,  источник УФ-подсветки, от 220 нм до 800 нм

Одночастотный эллипсометр

640 нм

 

Спектроскопический эллипсометр

от 200 нм до 800 нм

от 370 нм до 1000 нм Опция: Глубокий УФ: 193 нм~, УФ: 245 нм~ ИК: ~1,690 нм

Воспроизводимость измерения (ð)

 

 

Спектроскопический рефлектометр

0.1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3,000 нм)

0.03 % (толщина пленки:  от 10 нм до 10 мкм)

0.2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм; метод P&V)

Одночастотный эллипсометр

0.008 нм (критерий; ð)

 

Спектроскопический эллипсометр

0.03 нм (критерий;  ð)

0.02 нм (толщина пленки от 10 нм до 1000 нм) (критерий; ð)



Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх