Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система спектроскопического измерения толщины пленки SCREEN VM-1020/1030

Япония
  • картинка

Системы спектроскопического измерения толщины пленки VM-1020/1030. Модели имеют доступную цену и обеспечивают высокую скорость и точность измерения толщины пленки, быстроту вычислений с мгновенным отображением результатов измерений

Производитель: SCREEN
Страна производитель: Япония

Основные возможности:

  • Экономичный настольный вариант
  • Измерения с отличной воспроизводимостью
  • Простота эксплуатации
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Установки серии VM-1020/1030 представляют собой экономичный настольный вариант системы спектроскопического измерения толщины пленки.


Модели серии VM-1020/1030 имеют доступную цену и обеспечивают высокую скорость и точность измерения толщины пленки, быстроту вычислений с мгновенным отображением результатов измерений. 


■ ФУНКЦИИ

1. Система разделена на две секции: микроскоп и спектрометр, которые включают в себя блок с линзами объектива, ручной XY столик для образцов, электрический револьвер для объективов, фильтры и подсветку.

2. Используемый волоконно-оптический вход ПЗС спектрометра позволяет принять отраженный от поверхности образца свет и измерить его параметры одновременно на всех длинах волн видимого света, что обеспечивает высокую скорость и точность измерения толщины пленки.

3. Фотометрия по всей длине волны и высокая производительность компьютера обеспечивает быстроту вычислений с мгновенным отображением толщины измеряемой пленки.

4. Использование функция мастера рецептов значительно упрощает работу создания рецептов измерений.


■ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размеры пластин: ⌀50 мм, ⌀75 мм, ⌀100 мм, ⌀125 мм, ⌀150 мм, ⌀200 мм

 

Возможности:

• Измерение до 25 типов слоев пленок (29 для моделей с УФ-подсветкой)

• Измерение спектральной отражательной способности

• Регистрация типов пленок

• Трехмерное картирование измеренных данных и другой статистической информации

• Одновременное многоуровневое измерение (до 4 слоев)

• Расчет скорости травления

 

VM-1020/1030


Размер пятна

ø20 мкм (объектив с 5-кратным увеличением)                   

ø10 мкм (объектив с 10-кратным увеличением) 

ø5 мкм (объектив с 20-кратным увеличением)                 

ø2 мкм (объектив с 50-кратным увеличением) (опция)


Диапазон измерения

от 10 нм до 20 мкм (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 10-кратным увеличением)


Время измерения

1 сек. или меньше  (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 10-кратным увеличением)


Воспроизводимость (ð)         

0,1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3 000 нм)                          

0,03 % (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)                                              

0,2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх