Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система спектроскопического измерения толщины пленки VM-1200/1300

Япония
  • картинка

Системы спектроскопического измерения толщины пленки VM-1200/1300. Представляют собой экономичный настольный вариант. Серия включает в себя широкий ряд моделей с такими опциями, как автоматизированный столик и УФ-подсветка, что позволяет пользователю подобрать устройство для конкретных целей

Производитель: SCREEN
Страна производитель: Япония

Основные возможности:

  • Экономичный настольный вариант
  • Измерения с отличной воспроизводимостью
  • Простота эксплуатации
  • Широкий набор функций обработки данных измерений
  • Одновременное многоуровневое измерение 4 слоев пленки
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Установки серии VM-1200/1300 представляют собой экономичный настольный вариант системы спектроскопического измерения толщины пленки. Серия включает в себя широкий ряд моделей  с такими опциями, как автоматизированный столик и УФ-подсветка, что позволяет пользователю подобрать устройство для конкретных целей.

Модели серии VM-1200/1300 подходят для тех же областей применения, что  и VM-2200/3200, имеют доступную цену и могут использоваться для высокоточных измерений. Кроме того,системы данной серии совместимы с интерфейсом SECS и уже используются на многих производственных линиях.


ФУНКЦИИ

1. Позволяет проводить измерения с отличной воспроизводимостью благодаря голографической дифракционной решетке и одномерному ПЗС-датчику, который может проанализировать более 2 000 точек отбора в полном диапазоне длин волн в видимом диапазоне спектра.

2. Простота эксплуатации благодаря функции мастера рецептов. 

3. Широкий набор функций обработки данных измерений, включая трехмерное картирование, компенсацию данных толщины пленки, гистограммное отображение и ряд других  статистических инструментов.

4. Автоматизированный столик с автофокусом.

5. Стандартная настройка с возможностью измерения толщины и спектральной отражательной способности 25 видов плёнок. Широкий выбор программ для измерения пленок других типов.

6. Одновременное многоуровневое измерение 4 слоев пленки.


ХАРАКТЕРИСТИКИ

Размеры пластин: ⌀50 мм, ⌀75 мм, ⌀100 мм, ⌀125 мм, ⌀150 мм, ⌀200 мм, ⌀300 мм

Возможности:

•             Измерение до 25 типов слоев пленок (29 для моделей с УФ-подсветкой)

•             Измерение спектральной отражательной способности

•             Регистрация типов пленок

•             Трехмерное картирование измеренных данных и другой статистической информации

•             Одновременное многоуровневое измерение (до 4 слоев)

•             Расчет скорости травления


VM-1210/VM-1310

Размер пятна  

ø20 мкм (объектив с 5-кратным увеличением)

ø10 мкм (объектив с 10-кратным увеличением) 

ø5 мкм (объектив с 20-кратным увеличением)                              

ø2 мкм (объектив с 50-кратным увеличением) (опция)

Диапазон измерения 

от 10 нм до 20 мкм (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 10-кратным увеличением)

Время измерения        

1 сек. или меньше (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 10-кратным увеличением)

Воспроизводимость (ð)            

0,1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3 000 нм)                       

 0,03 % (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)                                             

 0,2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм; метод P&V)


VM-1230/VM-1330

Размер пятна  

ø 13.4 мкм (объектив с 15-кратным увеличением)            

ø 4 мкм (объектив с 50-кратным увеличением) (опция)

Диапазон измерения 

от 2 нм до 20 мкм (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 15-кратным увеличением)

Время измерения        

1 сек. или меньше (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 15-кратным увеличением)

Воспроизводимость (ð)            

0,1 нм (толщина пленки: от 5 нм до 3 000 нм)                           

0,03 %  (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)                              

0,2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм;  метод P&V)


Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх