Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система спектроскопического измерения толщины пленки VM-2200/3200

Япония
  • картинка

Система спектроскопического измерения толщины пленки VM-2200/3200. Компактные системы с высокой производительностью и широкими возможностями применения. Модели в этой серии подходят как для измерения материала, так и для измерения тонких и многослойных пленок

Производитель: SCREEN
Страна производитель: Япония

Основные возможности:

  • Высокая производительность
  • Компактный дизайн
  • Простота обслуживания
  • Удобство и простота эксплуатации
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Системы серии VM-2200/3200 для спектроскопического измерения толщин пленок являются наиболее популярными в Японии. Модели в этой серии подходят как для измерения материала, так и для измерения тонких и многослойных пленок.

Линейка VM-2200/3200 предназначена для использования с полупроводниковыми пластинами диаметром от 75 мм до 300 мм и включает в себя полный ряд моделей от более простых, низкопроизводительных устройств до профессиональных систем высокого класса, что позволяет подобрать установку для любых производственных нужд – НИОКР или производства.


Функции


Высокая производительность

Модели серии VM-2200 способны обрабатывать до 150 полупроводниковых пластин в час в высокоскоростном режиме (в процессе пятиточечного измерения пластин SiО2).


Компактный дизайн

Модели серии VM-2200/3200 имеют эргономичный компактный дизайн, благодаря чему установка легко встраивается в имеющееся пространство, что значительно упрощает планировку производственной линии.


Простота обслуживания

Модели серии VM-2200/3200 имеют функцию регистрации событий, которая облегчает техобслуживание. Компания SCREEN на основании многолетнего опыта в полупроводниковой промышленности создала дизайн, благодаря которому проведение техобслуживания стало простым, как никогда. Системы были разработаны и произведены в Японии, доставка запасных частей осуществляется в другие страны мира, включая Россию, в максимально оперативном режиме.


Удобство и простота эксплуатации

Вы можете легко создать рецепт и ввести оптические константы благодаря опыту компании SCREEN в полупроводниковой промышленности. Программный продукт можно практически полностью контролировать с помощью мыши.


Обработка одной пластины

Систему можно настроить для единовременной обработки одной пластины.


Гибкий дизайн

Линейка VM-2200/3200 включает в себя полный ряд моделей, поэтому вы можете выбрать систему, которая подходит вам по цене и набору функций.


Характеристики

Размер пластины: ø75 мм,    ø100 мм,    ø125 мм,  ø150 мм,  ø200 мм,  ø300 мм


Функции измерения   


1.            Измерение толщины однослойной и двухслойной пленки (стандартная программа: помимо 25 предварительно загруженных типов, пользователь может ввести характеристики дополнительных пленок)

2.            Возможна одновременная обработка до четырех образцов слоев пленок.

3.            Измерение коэффициента спектрального отражения

4.            Хранение и управление данными измерения

5.            Трехмерное картирование и отображение данных измерений, исправление значений толщины пленки, гистограммное отображение, функции статистической обработки и т.д.  

6.            Заданные пользователем типы пленок


Диапазон измерения 


VM-2210/3210 : от 10 нм до 20,000 нм

VM-2230/3230 : от 2 нм до 20,000 нм

*При необходимости проведения измерений свыше 20.000 нм, пожалуйста, свяжитесь с представителем компании.


Воспроизводимость измерений (ð)


0.1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3,000 нм)

0.03 % (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)

0.2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм; метод P&V)


Размер пятна измерения        

VM-2210/3210:   ø 20 мкм,  ø 10 мкм,  ø 5 мкм,  ø 2 мкм (опция)

VM-2230/3230:  ø 13.4 мкм,  ø 4 мкм (опция)


Диапазон длин волн  

VM-2210/3210: от 400 нм до 800 нм                  

VM-3210/3230: от 200 нм до 800 нм


Основные опции          

1)            Система транспортировки тонких пластин: 100 мкм

2)            Измерение толстых пленок: 100 мкм

3)            Функция распознавания изображения

4)            Главный компьютер в онлайн-режиме

5)            Измерение борозд

6)            FOUP/SMIF

7)            Навесная лампа

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх