Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система анализа структур на полупроводниковых пластин SCREEN ZI-2000

Япония
  • картинка

Система анализа структур на полупроводниковых пластин ZI-2000. Система ZI-2000 может использоваться в целом ряде процессов, начиная с производственного контроля в процессе первичной обработки пластины, где требуется гибкость, до финального визуального осмотра, где основным критерием является скорость

Производитель: SCREEN
Страна производитель: Япония

Основные возможности:

  • Может использоваться в целом ряде процессов, начиная с производственного контроля в процессе первичной обработки пластины до финального визуального осмотра.
  • Обеспечивают высокую производительность независимо от количества схем на полупроводниковой пластине
  • Легкое создание рецептов и оперативный анализ новых пластин
  • Все результаты анализа можно подтвердить в режиме реального времени.
  • Компактный дизайн и низкая стоимость
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Система анализа структур на полупроводниковых пластин


Функции            


1. Система ZI-2000 может использоваться в целом ряде процессов, начиная с производственного контроля в процессе первичной обработки пластины, где требуется гибкость, до финального визуального осмотра, где основным критерием является скорость.


2. Специальная головка с запатентованной линзой/системой подсветки и высокоскоростным процессором для обработки изображений обеспечивают высокую производительность независимо от количества схем на полупроводниковой пластине. 


3. Легкое создание рецептов и оперативный анализ новых пластин благодаря отсутствию необходимости сравнения с эталонным изображением.


4. Все результаты анализа можно подтвердить в режиме реального времени. Функция автоматической классификации дефектов (ADC) позволяет просматривать только необходимые результаты по окончании проверки.


5. Компактный дизайн и низкая стоимость обусловлены использованием платформы систем для оптического измерения толщины пленки Lambda Ace, а также более узкой функциональностью установки.


Спецификация


Пластина: ø5~ ø8 дюймов  / ø125~ ø200 мм (открытая кассета)

Транспортировка: Роботизированное транспортное устройство

Метод анализа: Сравнительный

Источник подсветки: RGB 3-цветная LED подсветка (цвета на выбор)

Оптическое разрешение: 1.5 мкм х 1.5 мкм

Производительность :

46 сек/  ø5 дюймов (ø125 мм)

56 сек/ ø6 дюймов (ø150 мм)

79 сек./ ø8 дюймов (ø200 мм)  (вкл. время транспортировки)

Габариты (ШxГxВ): 1,400 мм x 1,250 мм x 2,030 мм

Вес: Прим. 1 200 кг

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх