Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Idonus Установка УФ экспонирования на светодиодах

Швейцария
  • картинка
  • картинка
картинкакартинка

Инновационная система УФ-фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии. Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы.

Производитель: Idonus
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
  • Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
  • Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
  • Низкое потребление энергии
  • Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
  • Отсутствуют расходы на техобслуживание
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Компания idonus предлагает инновационную систему УФ фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии. Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы. Качество модуля засветки обеспечивает высокую однородность критических размеров и углов боковых стенок по всей поверхности. Наша система гарантирует идеально стабильное качество засветки фоторезиста, т.е. высокую равномерность и малые углы расхождения пучка по всей поверхности, благодаря телецентрической оптике.

Преимущества LED


Оптическая система Системы УФ экспонирования на светодиодах.png


Оптическая система

Современные достижения в области светодиодной технологий позволяют использовать ультрафиолетовую светодиодную засветку, которая имеет больше преимуществ, чем стандартная на основе ртутных источников:

  • Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
  • Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
  • Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
  • Низкое потребление энергии
  • Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
  • Отсутствуют расходы на техобслуживание

Возможно изготовление системы освещения по индивидуальному заказу в полном соответствии с вашими требованиями. Возможна интеграция системы в вашу установку экспонирования с заменой ртутной лампы.

Картина интенсивности освещения (8 ×8 см2).jpg

Idonus Система УФ экспонирования на светодиодах.jpg
Картина интенсивности освещения (8 ×8 см2)
Система экспонирования с электронным контроллером

Стандартные характеристики


Разрешение 0,5 мкм
Оптическая мощность от 20 до 200 мВт/см2
Площадь экспонирования от 50х50 до 300х300 мм2
Оптическая неоднородность излучения ±2%
Макс. угол расхождения пучка ±1.5° до 3°
Длина волны 365 / 385 / 405 нм
Полуширина спектра 12 нм
Размер системы 65×30×30 см3
Потребление электроэнергии 20 до 1200 Вт

Различные примеры конфигураций установки экспонирования указаны в таблице ниже. Система может работать с различными длинами волн и обеспечивает аналогичные характеристики экспонирования как в системах с ртутными источниками. Система может быть разработана под ваши технические требования.

Тип системы А Б В
Разрешение, мкм 2
1
1
Оптическая мощность, мВт/см2 42 152 165
Площадь экспонирования, мм2 80х80 100х100 300х300
Оптическая неоднородность излучения, % ±2 ±2 ±2
Макс. угол расхождения пучка ±2.5° ±1.5° ±1.5°
Длина волны, нм 405 365 385
Полуширина спектра, нм 12 12 12
Размер системы, см 65x30x30 65x30x30 1100x60x60
Потребление электроэнергии, Вт 20 180
1200

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх