Idonus Установка УФ экспонирования на светодиодах

Инновационная система УФ-фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии. Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы.

Производитель: Idonus

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
Низкое потребление энергии
Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
Отсутствуют расходы на техобслуживание

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации

Компания idonus предлагает инновационную систему УФ фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии. Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы. Качество модуля засветки обеспечивает высокую однородность критических размеров и углов боковых стенок по всей поверхности. Наша система гарантирует идеально стабильное качество засветки фоторезиста, т.е. высокую равномерность и малые углы расхождения пучка по всей поверхности, благодаря телецентрической оптике.

Преимущества LED

Оптическая система

Современные достижения в области светодиодной технологий позволяют использовать ультрафиолетовую светодиодную засветку, которая имеет больше преимуществ, чем стандартная на основе ртутных источников:

Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы

Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно

Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха

Низкое потребление энергии

Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)

Отсутствуют расходы на техобслуживание

Возможно изготовление системы освещения по индивидуальному заказу в полном соответствии с вашими требованиями. Возможна интеграция системы в вашу установку экспонирования с заменой ртутной лампы.


Картина интенсивности освещения (8 ×8 дюйм²)		Система экспонирования с электронным контроллером

Стандартные характеристики

Разрешение	0,5 мкм
Оптическая мощность	от 20 до 200 мВт/см²
Площадь экспонирования	от 50х50 до 300х300 мм²
Оптическая неоднородность излучения	±2%
Макс. угол расхождения пучка	±1.5° до 3°
Длина волны	365 / 385 / 405 нм
Полуширина спектра	12 нм
Размер системы	65×30×30 см³
Потребление электроэнергии	20 до 1200 Вт

Различные примеры конфигураций установки экспонирования указаны в таблице ниже. Система может работать с различными длинами волн и обеспечивает аналогичные характеристики экспонирования как в системах с ртутными источниками. Система может быть разработана под ваши технические требования.

Тип системы	А	Б	В
Разрешение, мкм	2	1	1
Оптическая мощность, мВт/см²	42	152	165
Площадь экспонирования, мм²	80х80	100х100	300х300
Оптическая неоднородность излучения, %	±2	±2	±2
Макс. угол расхождения пучка	±2.5°	±1.5°	±1.5°
Длина волны, нм	405	365	385
Полуширина спектра, нм	12	12	12
Размер системы, см	65x30x30	65x30x30	1100x60x60
Потребление электроэнергии, Вт	20	180	1200