Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка сушки пластин Tousimis Automegasamdri-815B, Series C

США
  • картинка

Установка сушки в критической точке Automegasamdri®-815B, Series С

Сушка пластин 4 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС. Низкое потребление углекислого газа. Автоматическая обработка до 5 пластин, 4 дюйма менее чем за час. Компактный дизайн. Минимальные требования к подключениям.

Производитель: Tousimis
Страна производитель: США

Основные возможности:

  • Сушка пластин 4 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
  • Установки сушки в критической точке Automegasamdri®-815B, Series С
  • Низкое потребление углекислого газа.
  • Автоматическая обработка до 5 пластин, 4 дюйма менее чем за час.
  • Минимальные требования к подключениям.
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Установки сушки в критической точке Samdri успешно используются для повышения качества изготовленных МЭМС устройств, а также увеличения объема производства за счет уменьшения брака при выпуске. Установки используются для сушки в углекислом газе отделенных элементов МЭМС после жидкостного травления. Важнейшим преимуществом этих систем является предотвращение «слипания» элементов МЭМС.


Сушка пластин 4 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.

Установки сушки в критической точке Automegasamdri®-815B, Series С

Низкое потребление  углекислого газа.

Автоматическая обработка до  5 пластин,  4 дюйма менее чем за час.  

Минимальные требования к подключениям. 


 

Особенности:

 

- Высокая эффективность внутреннего замкнутого цикла охлаждения  (от 22С до рабочей температуры менее чем за 3 минуты)


- Фильтры легко могут быть сняты для простого технического обслуживания


- Патентованная внутренняя система SOTER™ захватывает и  отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляет пары спирта


 Уникальные вставки в камеру, оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а также позволяет обрабатывать пластины различного размера.


- Обработка до 5 пластин х 4 дюйма в диаметре одновременно.  Система комплектуется дополнительными держателями устойчивыми к плавиковой кислоте для обработки пластин следующих размеров: 5 x 3", 5 x 2"  или для 5 квадратных пластин 10 мм. Держатели компании tousimis® устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах для жидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства к устройству.


- Подсветка камеры с смотровым окном


- Автоматическая обработка пластин под контролем интегрированного микропроцессора


- все внутренние поверхности инертны к углекислому газу и ультрачистым спиртам


-  Повторяемые параметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата


- Статистический модуль контроля давления обеспечивает стабильное безопасное давление


- Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистоту углекислого газа в камере до 0,4 микрон


- LED панель управления


- Дизайн установки подходящий для использования в чистой комнате


- Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, UL и/или U.S. Military Specifications.

    

Размеры установки: 21" (53.3 см) ширина x 34" (86.4 см) глубина x 45" (114.3 см) высота

Занимаемая площадь: 24" (61.0 см) ширина x 34" (86.4 см) глубина

Размер камеры: 4.50" x 1.25" / Объем камеры:326 мл

Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: от 0 до 2,000 psi

Электричество: 220В / 50 Гц

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх