Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система жидкостного травления MOT μChem

Германия
  • картинка

Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D

Производитель: MOT
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
  • Очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна
  • Промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва
  • Сушка пластин: центробежная отмывка и сушка пластин, сушки в изопропиловом спирте.
  • Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
  • Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
  • Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
  • Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D. 

Корпус устройства изготовлен из полипропилена устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.


КОРПУС


Материалы: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF, нержавеющая сталь.
Материал дверцы: полипропилен или PMMA, прозрачный ПВХ


ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ МОДУЛИ


Промывка перчаток
Модуль травления спреем с раскруткой пластины
Модуль групповой обработки пластин
Корзины для переноски пластин
Термостолик
Модуль жидкостной обработки с раскруткой пластины


ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ И ПНЕВМАТИКА


Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, пневматические и электронные компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне системы, распылитель DI-H2O и N2 встроен в рабочую поверхность.


СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ


Важно: доступны индивидуальные варианты комплекта компонентов.
Вентили: мембранные, шаровые, различного диаметра.
Помпа: пневматическая помпа из пластика PTFE, опционально - электрические помпы из PVDF.
Корпус фильтра: PFA 10“, опционально PVDF,
Трубки/Фитинги: Трубки из PVDF, PP или PFA диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Пневматика: Festo-Parts, Система PLC, контроль с помощью ПК опционально
Панель управления: сенсорный экран


МОДУЛИ ТРАВЛЕНИЯ


Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
Фильтрационные или погружные, с регулировкой температуры и без

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх