Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система электрохимического осаждения MOT μGalv

Германия
  • картинка
  • картинка
картинкакартинка

Система электрохимического осаждения μGalv обеспечивает выполнение рабочих процессов, связанных с осаждением металлов на пластину. Используется в процессе производства МЭМС, полупроводников, оптике, производстве солнечных батарей

Производитель: MOT
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
  • Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb и других.
  • Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb и других.
  • Различные варианты исполнения ванн
  • Импульсное осаждение с минимальным интервалом 0,10 мс, реверсирование потоков.
  • Контроль параметров электролита (состав, рH, температура)
  • Постановка и сдача процесса под задание заказчика
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Система электрохимического осаждения μGalv обеспечивает выполнение рабочих процессов, связанных с осаждением металлов на пластину. Используется в процессе производства МЭМС, полупроводников, оптике, производстве солнечных батарей. Гибкость настроек вместе с возможностью расширения делает μGalv идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D. 

Корпус устройства изготовлен из пластика устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам и т.д). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.


КОРПУС


Материал: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF 
Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный PVC.


МОДУЛЬ ОЧИСТКИ


Стандартная стоп-ванна (настольная или встроенная), ванна быстрого отмыва, мега-звуковая ванна.
Модули центробежной отмывки и сушки пластин, доп. QDR


ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ И ПНЕВМАТИКА


Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.


ДОП. ОПЦИИ ДЛЯ ПРОЦЕССА

Шкаф с размещением нескольких ванн, для разных процессов
Вертикальное перемещение катода
Работа с упаковками при необходимости хим. восстановления
Импульсное осаждение с мин. межимп. инт. в 0,1 мс
Возможность реверсирования потоков


МОДУЛИ ОСАЖДЕНИЯ


Ванна переливная, дополнительный резервуар c циклом фильтрации/перелива.
Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb,...
Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb,...
Варианты ванн: на подвеске, разбрызгиватель, поточная (с наклоном пластин) в зависимости от нужд потребителя.
Контроль необходимого pH (кислоты и/или щелочи), а также охлаждение.
Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс, реверсирование потоков.


СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ


Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта компонентов.
Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
Помпа: погружная помпа из полипропилена, опционально PVDF
Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF трубопровод из PP, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Панель доступа: сенсорная


ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ОПЦИИ


Автоматические манипуляторы
Интеграция ванн предварительной и пост обработки. 
Ламинарный шкаф
Вакуумная фиксация
Быстрое подключение для слива жидкостей
Интерфейс для работы с данными о процессе
Индивидуальные решения

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх