Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Ручная зондовая станция MPI TS150

Тайвань
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинка

Зондовая станция MPI TS 150 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности

Производитель: MPI Corporation
Страна производитель: Тайвань

Основные возможности:

  • Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
  • Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
  • Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
  • Антивибрационная платформа в комплекте
  • Русскоязычное калибровочное ПО QAlibria
  • Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
7.1_TS150_TS200_TS300_Air_bearing_stage.jpg        Функции и преимущества

Платформа с пневматическим подшипником 
Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником компании MPI обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм.

    02_TS150-TS200-TS300-Probe-System-Unique-platen-lift-1.png      Уникальный механизм подъема платформы
Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µm) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µm) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью.
7.3_TS150_TS200_TS300_Height_adjustment_scale.jpg        Регулировочная шкала по высоте
Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы. 
7.4_TS150_TS200_TS300_Compact_and_rigid_platen_design.JPG        Компактная и жесткая конструкция платформы
Компактная и жесткая конструкция платформы обеспечивает размещение до десяти микропозиционеров для измерений на постоянном токе и до четырех высокочастотных.
7.5_TS150_TS200_TS300_Various_chuck_options.jpg        Различные держатели пластин
Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания MPI предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°C
7.6_TS150_TS200_TS300_Auxiliary_chucks.jpg         Дополнительные держатели (для калибровочных пластин)
В комплекте с высокочастотными держателями пластин входят два дополнительных держателя, встроенные в керамический материал для размещения калибровочных пластин
7.7_TS150_TS200_TS300_Various_optic_and_movement_choices.jpg        Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов
Предлагается большой ассортимент микроскопов и типов перемещений. Стереоскопический микроскоп для выполнения измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Монокулярные микроскопы MPI SZ10 или MZ12 для ВЧ конфигураций. Имеются в наличии высокомощные оптические устройства, например, Mitutoyo FS70 или Motic PSM-1000, для приложений, выполняющих анализ отказов.
 08_Probe-System-Optic-tilting.png      Откидывание микроскопа
Откидывание микроскопа на 90 градусов, стандартная опция для ручных зондовых станций так же, как и перемещение микроскопа при помощи пневматического подшипника и линейный подъем микроскопа по оси Z. Эти опции позволяют легко устанавливать и менять ВЧ головки.
09_vibration-isolation-platform.png         Антивибрационная платформа
В состав всех ручных систем входит антивибрационное основание для достижения стабильного и устойчивого длительного контакта между зондом и подложкой, обеспечивая, таким образом, надежные результаты измерений. Антивибрационная платформа или антивибрационный стол являются дополнительными приспособлениями для лабораторий, где требуется всесторонняя защита от вибраций и заказываются отдельно.
10_TS150-TS200-TS300-Probe-Systems-Dark-box.png         Светоизоляционный корпус
Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе.

Станции TS150 компании MPI просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 150мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности


Обзор зондовых станций TS150, TS200


Платформа на пневматическом подшипнике.


Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI SuperZoom SZ10


Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI MPI MegaZoom SZ12.

Оборудование для полного цикла производства
Rohde&Schwarz R&S®ZVA

Rohde&Schwarz R&S®ZVA

Анализаторы цепей серии R&S®ZVA – незаменимый ...

 Rohde&Schwarz R&S®ZNB

Rohde&Schwarz R&S®ZNB

Более 60 лет опыта работы в сфере векторного ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх