Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Полностью автоматическая зондовая станция MPI TS2500

Тайвань
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Автоматизированная зондовая станция для пластин размером до 200 мм. Для проведения серийных испытаний на высокой частоте

Производитель: MPI Corporation
Страна производитель: Тайвань

Основные возможности:

  • Измерения на высокой частоте до 67 ГГц и 4-портовая топология
  • Одновременные измерения на постоянном токе DC-IV / постоянном токе и постоянном напряжении / Pulsed-IV
  • Обеспечиваемая надежность - 24/7
  • Простая фронтальная загрузка одной пластины
  • Большой зондовый стол с максимум 4х ВЧ микопозиционерами или стандартным 4.5” держателем проб-карт
  • Двойная рука робота и встроенное приспособление для предварительного совмещения для обеспечения высокой степени производительности
  • Обеспечиваются различные функции держателей и большой выбор оснастки
  • Стандартная камера для внеосевого совмещения полупроводниковой пластины
  • Дополнительная камера держателя для верхнего обзора при совмещении зонда и платформы
  • Специальная функция для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
 TS2500_thin_-wafer_handling.jpg         Обработка тонких полупроводниковых пластин

Уникальная конструкция держателей и штифтов подъема пластины станции TS2500-RF обеспечивает безопасную работу с пластинами толщиной до 50 мкм позволяя, таким образом, выполнять тестирование   тонких сложных пластин AIII-BV пластин.

RF-держатели включают два дополнительных держателя, выполненных полностью из специального керамического материала для точной RF калибровки. Дополнительные держатели также могут использоваться для размещения пластины для чистки щупов зондовых головок.  Также доступны термодержателиS
 TS2500_High-Throughput.jpg    
Высокая производительность
Автоматическая работа заключается в использовании двойных рук роботов, соединенных с двойными кассетными держателями полупроводниковых пластин, имеющих размер 150 или 200 мм, обеспечивая, таким образом, высокую эффективность замены полупроводниковых пластин и высокую скорость выполнения измерений. Станция TS2500-RF может достигать максимальной скорости тестирования 10 кристаллов/секунду (в зависимости от окончательной конфигурации станции), которая и делает ее прекрасным выбором для производственных электрических измерений как дискретных RF устройств, так и интегральных схем (IC).
 TS2500_Advanced-Alignment-H300.jpg     Предварительное совмещение

Функции предварительного выравнивания, такие как внеосевое совмещение и установленные над держателем пластин  видеокамеры делают зондовую станцию TS2500-RF идеальной платформой для проведения RF-измерений сложных конфигураций. 

 

Технические характеристики


Держатель по оси XY (программируемый)


Длина хода
298 мм x 350 мм (11.7 x 13.7 дюймов)
Разрешение
0.1 мкм
Точность
± 4.0 мкм
Повторяемость
± 2.0 мкм

Держатель по оси Z (программируемый)


Длина хода
16 мм (0.6 дюймов)
Разрешение
0.2 мкм
Повторяемость
± 1.0 мкм

Держатель по углу (программируемый)


Длина хода
± 5.0°
Разрешение
0.00125°
Точность
3.0 мкм (измеряется на кромке держателя пластин размером до 200 мм

Требования к оборудованию


Зондовая установка в целом


Напряжение
110/120/200/230 V AC 50/60 Hz
Вакуум
< -0.7 бар при 10LPM
Сжатый воздух
4.0 – 6.0 бар при 2LPM

Габариты зондовой установки


Характеристики


Габариты станции (Ш x Г x В)
1930 x 1460 x 1845 мм (76.0 x 57.5 x 72.6 дюймов)
Масса
900 кг

Габариты зондовой станции MPI TS2500.jpg
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх