Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

MPI TS300SE

Тайвань
  • картинка

Ручная измерительная зондовая станция MPI TS300 с функцией защиты ShielDEnvironment™ предназначена для измерения вольт-фарадных характеристик (DC/CV), а также измерения высокочастотных сигналов (RF) пластин размером до 300 мм в диапазоне температур от -60 до +300°C.
Она включает в себя антивибрационную платформу для удобного проведения ежедневных измерений.

Производитель: MPI Corporation
Страна производитель: Тайвань
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
01-TS300-SE-Manual-Probe-Systems-ShielDEnvironment.png             
ShielDEnvironment™
ShielDEnvironment™ от компании MPI - это высокоэффективная камера для испытаний на локальные внешние воздействия, обеспечивающая условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения.
02-TS300-SE-Probe-System-ShielDCap-2.png        ShielDCap™
Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment™ обеспечивает использование до 4-х микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8-ми микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию.

 03-TS300-SE-Manual-Probe-Systems-Air-Bearing-Stage.png      
Передвижение держателя стола на воздушной подушке
Станция TS300-SE имеет ту же уникальную конструкцию держателя с передвижением на воздушной подушке как у всех ручных станций TS150, TS200, TS300 c простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. Кроме того станция имеет уникальное передвижение (подъем платформы) по оси Z.
 04_TS200-SE-Probe-System-Unique-platen-lift-1-2017.png    
Уникальный механизм подъема платформы
Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, перемещения (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость.

Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками.
 05-TS300-SE-Manual-Probe-Systems-Unique-Chuck-Z-Control.png    
Уникальный держатель по оси Z
  • Дополнительно к перемещению держателя пластин на воздушной подушке по оси XY    возможность подъема по оси Z на 5 мм,  с разрешением в микрометровом диапазоне для точного контакта и глубины вхождения в контакт щупов зондовой головки
  • Указатель со шкалой 1 мм для удобства работы оператора.
  • Дополнительный пневматический подъемник 20 мм  для легкой загрузки/разгрузки пластины
 
 06-TS200-SE-Various-Chuck-Options.png      
Держатели полупроводниковых пластин
Станция TS300-SE доступна с различными моделями держателей для соответствия различным бюджетам и требованиям.

Новые температурные держатели серии PRIME™ для пластин диаметром 300 мм, совместная разработка компаний MPI и ERS, открывают возможности для большого выбора темпеартурных держателей. Станции можно конфигурировать в широком диапазоне температур: от -60°C, -40°C, -10°C, 20°C или 30°C до 200°C или 300°C (в зависимости от необходимой термической стойкости, различных запросов и бюджетов). Серия PRIME™ поддерживает проведение испытаний при температуре -10°C без использования чиллера или при температуре -40°C с использованием маленького чиллера, что делает систему экономически эффективной и позволяет снизить общую стоимость испытаний. Сокращение времени переходного процесса, улучшенные электрические характеристики, упрощенная процедура проведения испытаний в инертной атмосфере и возможность модификации являются дополнительными преимуществами температурных держателей пластин серии PRIME™. Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями из керамики для прецизионной высокочастотной калибровки

 07-TS200-SE-Probe-System-Thermal-Control-Integration.png    
Интегрированная терморегуляция
Дверца для загрузки пластин закрывается при любой температуре ниже 15°C – эта уникальная характеристика делает TS300-SE одной из самых безопасных станций на рынке.

Более того, управлять температурным держателем пластин легко при помощи встроенного сенсорного дисплея терморегулятора, расположенного перед оператором 

 08-ast-ers.jpg     Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3
Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment™ использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 – 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке.
 09_TS200-SE-Probe-System-Various-optic-options.png           Различные модели микроскопов 
 Доступен широкий выбор микроскопов iMAG® M или монокулярные микроскопы MPI SuperZoom™ SZ10, MegaZoom™ MZ12 с макс. 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 42 мм или EeyZoom™ EZ10 – с 10-кратным оптическим увеличением с эргономичными 20x окулярами, расстоянием фокусировки 90 мм и оптической разрешающей силой до 2 мкм.

Уникальные возможности модификации
Модульный дизайн станции TS300-SE обеспечивает уникальные возможности для модификации. Все приставные контактные измерительные устройства станции TS300-SE, такие как термодержатели, микроскопы, позиционеры можно модифицировать или изменять конфигурацию для соответствия различным требованиям применения, включая продолжительность эксплуатации станции для значительного снижения эксплуатационных расходов.

Зондовая станция MPI TS300-SE с функцией защиты ShielDEnvironment™ обеспечивает максимальную защиту от электромагнитного излучения для малошумных и малоемкостных измерений для различных областей применения, например, получение характеристик устройств и моделирование, RF/СВЧ-излучение, проверка надежности на уровне пластины, анализ отказов, проверка правильности проекта ИС и измерений высокой мощности.

Оборудование для полного цикла производства
 Rohde&Schwarz R&S®ZNB

Rohde&Schwarz R&S®ZNB

Более 60 лет опыта работы в сфере векторного ...

Rohde&Schwarz R&S®ZVA

Rohde&Schwarz R&S®ZVA

Анализаторы цепей серии R&S®ZVA – незаменимый ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх