---

SUSS MicroTec представляет новую систему экспонирования с изменяемым углом засветки фоторезиста для автоматических установок SUSS MA200

При засветке отвесных стенок полупроводниковых структур стандартная фотолитография не может обеспечить достаточную дозу. Также в тех случаях, когда толщины резистов на стенках больше таковых на поверхности, равномерная засветка резиста становится невозможной на стандартных установках. Для этого необходимо изменить угол засветки, что и предоставляет новая система экспонирования, позволяющая засвечивать как со стандартным углом 90°, так и с углом 60° и 45°.

Наша компания является официальным дистрибьютором Suss Microtec в России, а так же по всему СНГ.