Сушильный шкаф для изопропанола IPA-Dryer
Сушка пластин (до 300 пластин в час при загрузке двух кассет по 25 пластин)
Варианты загрузки:
- 2 х 25 пластин 6 дюймов
- 2 х 25 пластин 8 дюймов
- 1 х 25 пластин 6 дюймов
- 1 х 50 пластин 6 дюймов
- 1 х 50 пластин 8 дюймов
- 1 х 50 пластин 12 дюймов
Преимущества:
- Сушка без остаточных следов на поверхности
- Очень низкое потребление изопропанола
- Высокий уровень безопасности
- Низкое потребление электроэнергии и воды
- Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
- Минимальный уход
- Сенсорный дисплей
- Коммуникационный интерфейс со шкафами для "мокрой" химии
|
 |
Шкафы для "мокрой" химии
- Раздельные ванны
- Очиститель перчаток
- Вакуумная пипетка
- Пистолет для деионизованной воды и азота
- Вертикальная загрузка кассеты с подложками
- Модуль вращения пластин
- Термостолики
- Центрифуги
- Горизонтальный очиститель в виде трубы
|
 |
Полуавтоматическая установка химической обработки Mini-Gemenex
Процессы:
- Отмывка пластин
- Снятие резиста
- "Мокрое" травление (нитридов, SiO2, Si)
Производительность до 150 пластин в час (зависит от конфигурации)
Варианты загрузки:
- 2 х 25 пластин 6 дюймов
- 1 х 25 пластин 6 дюймов
- 1 х 25 пластин 8 дюймов
- 1 х 25 пластин 8 дюймов
Преимущества:
- Низкая стоимость эксплуатации
- Оптимизированные потоки в ваннах
- Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
- Минимальный уход
- Малая занимаемая площадь
- Сенсорный дисплей для управления
- Удаленный доступ по TCP/ IP или модему
- Хранение истории процессов и их параметров
- Отмыв мегазвуком
- Дозирование твердых субстанций, таких, как APS (Пероксидисульфат аммиака)
|
 |
Автоматическая установка химической обработки Gemenex
Процессы:
- Отмывка пластин
- Снятие резиста
- "Мокрое" травление (нитридов, SiO2, Si)
- Сушка (встроенный изопропаноловая сушка)
Производительность до 300 пластин в час (зависит от конфигурации)
Варианты загрузки:
- 2 х 25 пластин 6 дюймов
- 2 х 25 пластин 8 дюймов
- 1 х 50 пластин 8 дюймов
- 1 х 50 пластин 12 дюймов
Преимущества:
- Процесс оптимизируется по текстуре
- Низкая стоимость эксплуатации
- Оптимизированные потоки в ваннах
- Система сущки с минимальными требованиями расходных материалов
- Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
- Минимальный уход
- Малая занимаемая площадь
- Сенсорный дисплей для управления
- Удаленный доступ по TCP/ IP или модему
- Хранение истории процессов и их параметров
- Отмыв мегазвуком
- Загрузочный порт для SMIF-контейнеров
|
 |
Вытяжные шкафы
- Раздельные ванны
- Очиститель перчаток
- Вакуумная пипетка
- Пистолет для деионизованной воды и азота
- Вертикальная загрузка кассеты с подложками
- Облегченное перемещение кассет с подложками
- Модуль вращения пластин
- Термостолики
- Центрифуги
- Горизонтальный очиститель в виде трубы
|
 |
