Также Вы можете:

 

Lotus systems

 

 

 

Сушильный шкаф для изопропанола IPA-Dryer

Сушка пластин (до 300 пластин в час при загрузке двух кассет по 25 пластин)

Варианты загрузки:

  • 2 х 25 пластин 6 дюймов
  • 2 х 25 пластин 8 дюймов
  • 1 х 25 пластин 6 дюймов
  • 1 х 50 пластин 6 дюймов
  • 1 х 50 пластин 8 дюймов
  • 1 х 50 пластин 12 дюймов

Преимущества:

  • Сушка без остаточных следов на поверхности
  • Очень низкое потребление изопропанола
  • Высокий уровень безопасности
  • Низкое потребление электроэнергии и воды
  • Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
  • Минимальный уход
  • Сенсорный дисплей
  • Коммуникационный интерфейс со шкафами для "мокрой" химии

Шкафы для "мокрой" химии

  • Раздельные ванны
  • Очиститель перчаток
  • Вакуумная пипетка
  • Пистолет для деионизованной воды и азота
  • Вертикальная загрузка кассеты с подложками
  • Модуль вращения пластин
  • Термостолики
  • Центрифуги
  • Горизонтальный очиститель в виде трубы

Полуавтоматическая установка химической обработки Mini-Gemenex

Процессы:

  • Отмывка пластин
  • Снятие резиста
  • "Мокрое" травление (нитридов, SiO2, Si)

Производительность до 150 пластин в час (зависит от конфигурации)

Варианты загрузки:

  • 2 х 25 пластин 6 дюймов
  • 1 х 25 пластин 6 дюймов
  • 1 х 25 пластин 8 дюймов
  • 1 х 25 пластин 8 дюймов

Преимущества:

  • Низкая стоимость эксплуатации
  • Оптимизированные потоки в ваннах
  • Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
  • Минимальный уход
  • Малая занимаемая площадь
  • Сенсорный дисплей для управления
  • Удаленный доступ по TCP/ IP или модему
  • Хранение истории процессов и их параметров
  • Отмыв мегазвуком
  • Дозирование твердых субстанций, таких, как APS (Пероксидисульфат аммиака)

Автоматическая установка химической обработки Gemenex

Процессы:

  • Отмывка пластин
  • Снятие резиста
  • "Мокрое" травление (нитридов, SiO2, Si)
  • Сушка (встроенный изопропаноловая сушка)

Производительность до 300 пластин в час (зависит от конфигурации)

Варианты загрузки:

  • 2 х 25 пластин 6 дюймов
  • 2 х 25 пластин 8 дюймов
  • 1 х 50 пластин 8 дюймов
  • 1 х 50 пластин 12 дюймов

Преимущества:

  • Процесс оптимизируется по текстуре
  • Низкая стоимость эксплуатации
  • Оптимизированные потоки в ваннах
  • Система сущки с минимальными требованиями расходных материалов
  • Высококачественные компоненты с длительным сроком эксплуатации
  • Минимальный уход
  • Малая занимаемая площадь
  • Сенсорный дисплей для управления
  • Удаленный доступ по TCP/ IP или модему
  • Хранение истории процессов и их параметров
  • Отмыв мегазвуком
  • Загрузочный порт для SMIF-контейнеров

Вытяжные шкафы

  • Раздельные ванны
  • Очиститель перчаток
  • Вакуумная пипетка
  • Пистолет для деионизованной воды и азота
  • Вертикальная загрузка кассеты с подложками
  • Облегченное перемещение кассет с подложками
  • Модуль вращения пластин
  • Термостолики
  • Центрифуги
  • Горизонтальный очиститель в виде трубы

 

 

Контакты | For partners (in English) © TBS - Technology & Business Solutions