Нанесение, проявление и сушка фоторезиста и других составов
Для нанесения мы предлагаем установки двух фирм: швейцарской Sawatec и немецкой Suss MicroTec.
Установки нанесения:
Серия Delta, выпускаемая фирмой SUSS MicroTec, представляет собой широкий спектр оборудования для лабораторий и пилотных производств, которое может обрабатывать пластины до 22 дюймов диаметром или квадратные подложки с длиной стороны до 16 дюймов. Delta включает модули процессов для следующих приложений:
- Сушки подложек
- Системы нанесения
- Термостолики
- Охлаждающие столики
- Проявляющие и травящие системы
- Очистители
- Праймирование с ГМДС
Подробнее о системе |
 |
Небольшие лабораторные центрифуги. Выпускаются как в собственном корпусе, так и для монтажа в уже имеющийся столик
Возможности системы:
- Центрифуга оптимизирована для университетов, лабораторий и пилотных проектов
- Позволяет обрабатывать подложки до 150 мм диаметром
- Возможен как вакуумный зажим подложки, так и механический
- Легкая замена столика без использования специальных приспособлений
- Чаша сделана разборной, чтобы можно было легко ее очищать
- Дисплей с полным контролем процесса
- Возможно устанавливать до 24 пар установок скорость/время
- Контроллер с возможностью запоминания до 50 рецептов
- Крышка, закрываемая вручную, сделана из полиэтилена. Потоком воздуха можно управлять для изменения профиля нанесения резиста.
- Чаша сделана из полиоксиметилена (POM), возможно производство и из другого материала по дополнительному запросу (например, нержавеющей стали или анодированного алюмния)
Подробнее о системе
|
 |
Уникальная система нанесения спреем
- Покрытие по сложной топографии
- Лучшее покрытие внешних углов без скапливания резиста во впадинах
- Оптимальная репродуктивность и чистота процесса
- Покрытие стенок с уклоном до 90 градусов без стекания резиста
- Непревзойденная равномерность покрытия
Подробнее о системе
|
 |
Центрифуги LSM 200/250/300/600. Нанесение на пластины 200/250/300/600мм
Каждая центрифуга может быть выпущена в двух версиях - для монтажа в стойку пользователя или в собственном столике, выполненном из пластика или нержавеющей стали (по запросу)
Возможности серии LSM:
- Ручная загрузка подложек
- Обрабатывает пластины до 12 " или квадратные подложки до 8х8"
- Легкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов
- Блок для процессов сделан модульным, что позволяет легко проводить очистку
- Автоматическая подающая система с дозирующей помпой для плотностей до 800 сантипуаз (опционально до 50'000 сантипуаз)
- Автоматическое распознавание размера держателя с автоматическим ограничением скорости вращения
- Сенсорный дисплей 5,7" с логическим контролем
- Контроллер процесса с возможностью запоминания до 10 рецептов
- Один рецепт может программироваться до 10 пар значений скорость/время
- Безщеточный сервомоторор до 6'000 об/мин
Подробнее о системах LSM
|
 |
Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй
Возможности установки проявления:
- Сенсорный дисплей
- До 50 рецептов по 24 шага в каждом
- Закрытая чаша для проявления
- Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
- Возможность подогрева проявителя
- Подающая рука с электрическим приводом
- До 4 подающих линий под разные проявители
- На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
- Механический зажим подложек
- Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
- Два варианта - в напольном столике или для встраивания
Подробнее об установке проявления
|
 |
Нанесение и проявление
Автоматизированные системы для НИОКР и пилотных производств
Подробнее о системе |
 |
Концепция "все в одном" - совмещение, экспонирование, нанесение, проявление, бондинг
- Автодетектирование размера пластин
- Наращиваемая кластерная архитектура
- Превосходная работа с толстыми резистами
- Купол GYRSET для лучшей равномерности нанесения
- Нанесение без "бахромы" на квадратных и прямоугольных подложках
- Точная система удаления валика у края
- Нанесение резистов струей и спреем для достижения превосходного покрытия высокой топографии
- Технология параллельных потоков для оптимального использования установки
Подробнее о системе |
 |
Установки сушки (температурные столики и температурные камеры):
Небольшие температурные камеры в базовой конфигурации. Применяется термический столик для сушки фоторезиста, сушки эпоксидных покрытий, а также для любых других работ, требующих точную температуру
Возможности:
- Практичный дизайн, алюминиевый корпус
- Максимальная температура нагрева 150 или 250 град.Цельсия
- Загрузка подложки вручную
- Цифровые установки и отображение температуры сверху
- Фиксация подложки вакуумом в центре столика
- Встроенный вентилятор обеспечивает обдув воздухом и вывод паров во внешнюю вытяжку
- Три винта сверху позволяют выровнять термостолик по уровню
Подробнее о системе |
 |
Небольшие температурные камеры с расширенной конфигурацией.
Возможности:
- Практичный дизайн, алюминиевый корпус
- Максимальная температура нагрева 250°С
- Высота загрузки подложки 15 мм
- Цифровые установки и отображение температуры сверху
- Пневматический привод крышки
Подробнее о системе |
 |
Температурные камеры с широкими возможнотсями для разнообразных целей применения
Возможности установок:
- Практичный дизайн, алюминиевый корпус
- Максимальная температура нагрева 150°С или 250°С
- Функция охлаждения в модели HP 401-Z
- Для подложек размером от 2" до 12"
- Цифровые установки и отображение температуры сверху
- Пневматический привод подъема крышки
Подробнее о системах |
 |
Температурные камеры, разработанные специально для ГМДС
Возможности установки:
Подробнее о системе |
i |
Специализированные температурные камеры.
HP 301 устанавливается по нескольку штук в стойки с загрузкой сбоку.
HP 300-Z разработана для установки в вакуумные камеры, оборудована автоматическими штырьками и имеет функцию охлаждения
Подробнее о системах |
|
 |
