MC600i
 |
Система микроскалывания MC600i - это улучшенная версия MC600 с большей точностью, обеспечивает микроскалывание меньших кусочков подложек до 0,5 мм.
С помощью Sela MC600i можно получить поперечное сечение подложек и их кусочков в полностью автоматическом режиме. Программное обеспечение обеспечивает автоматическую постройку карты и навигацию подложки, а также автоматическую выгрузку для немедленного просмотра подложки. Высокая производительность (одна подложка в 9 минут), высокая точность (менее 0,5 микрона), а также непревзойденное качество поперечных срезов сильно уменьшают затраты времени и денег и на анализ отказов, и на мониторинг процесса производства.
Возможности Sela MC600i:
-
Полностью автоматический программируемый процесс
-
Один скол в 3 минуты
-
Возможность использования маленьких кусочков подложек
-
Механизм крио-замораживания (опция)
-
Оптическое увеличение до 7600 крат (опция)
Выгоды использования Sela MC600i:
- Увеличивает общую производительность
- Улучшает анализ выхода годных
- Улучшает характеризацию
- Улучшает утилизацию
- Низкая стоимость обслуживания
EM2
 |
Автоматизированная система трансмиссионной и сканирующей электронной микроскопии для поперечных сечений, а также планового обзора для широкого спектра использования. С использованием опции крио-охлаждения при срезах можно подготавливать образцы как кристаллических, так и аморфных материалов. Выходной образец получается на штырьке, который можно использовать повторно.
Возможности Sela EM2:
-
Гибкий процесс "сухого скола" с криогенным охлаждением
-
Поддерживает как кристаллические, так и аморфные материалы
-
Вид сверху и вид сбоку
-
Держатель на 300 мм позволяет просматривать и маркировать всю подложку целиком
-
Навигация по всей площади подложки
-
Микроскоп с большим увеличением
-
Активный антивибрационный стол
Выгоды использования Sela MC2:
- Возможно использования в большинстве процессов, в т.ч. специфических
- Можно соединять с системой ионной зачистки
- Увеличивает общую производительность
- Улучшает анализ выхода годных
- Улучшает характеризацию
- Улучшает утилизацию
- Низкая стоимость обслуживания
- Возможно многократное использование кусочков на трансмиссионной электронной микроскопии
Xact
 |
Это первая система трансмиссионной электронной микроскопии с использование запатентованной технологии адаптивной ионной зачистки, что дает возможность сильно снизить время анализа и увеличить продуктивность. Адаптивная ионная зачистка, по сравнению с традиционной фокусированной ионной зачисткой, позволяет уменьшить толщину образцов до 50 нанометров и менее с высокой точностью, без нежелательных эффектов (например, клиньев) и высокой производительностью.
В системе Sela Xact используется двухлучевая комбинация, что обеспечивает более точное определение конечной точки и чистоту без нежелательных эффектов.