 |
Системы термического отжига применяются в кремниевых, композитных полупроводниках, интегрированной фотонике и производстве MEMS.
Настольная система термического отжига RTP-600S для размеров до 150 мм
 |
Используется для приложений:
- силицирование титана
- азотирование металлов
- формирование силицидов и их отжиг
- увеличение диэлектрических свойств кремния
- оплавление стекла
- отжиг поликремния
- активация имплантов
- отжиг контактов и их зауживание
- оксидирование структур
- загущение пропусков в тетраэтилортосиликате
- отжиг импланта в арсениде галлия
- отжиг контактов в арсениде галлия
Также выпускается напольная система для 200-мм пластин RTP-800S:
 |