Услуги нашей фирмы

Фирма "ТБС - Технолоджи энд Бизнес Сольюшнс" является поставщиком оборудования для производства полупроводниковых устройств. Мы можем предложить оборудование ведущих мировых фирм. Спектр предлагаемого нами оборудования включает как небольшие установки для НИОКР, так и большие модульные системы для полностью автоматизированного производства полупроводников в больших объемах. Также возможна поставка восстановленного оборудования.

Оборудование

Предлагаем выбрать оборудование либо по типу процесса

либо по фирме-изготовителю

Литография Оборудование фирмы Suss MicroTec - признанного лидера в этой области

Нанесение и проявление фоторезиста Все - от небольших центрифуг для обработки кусочков пластин до больших полностью автоматических установок

Бондинг В этом разделе представлены бондеры для склейки пластин, использующиеся для MEMS-структур

Измерения Зонды от Suss MicroTec - от ручных до полуавтоматических, позволяющих проводить оперативный контроль выпускаемой продукции

Металлизация Установки фирмы Evatec известной серии BAK, выпускавшейся ранее фирмой Balzers

Травление (RIE) Широкий спектр применения установок травления от Corial

Осаждение диэлектриков (PECVD) Установки Corial для осаждения SiO2, Si3N4, SixNy

Corial производит системы травления типа RIE (реактивно-ионное травление), ICP (индуктивно спаренная плазма) и системы осаждения диэлектриков

Evatec является преемником Balzers по производству и поставкам систем типа ВАК, используемых в полупроводниковом и оптических производствах при нанесении тонкопленочных материалов на подложки путем электронно-лучевого испарения и/или термального испарения.

John P Kummer - один из крупнейших европейских дистрибьюторов полупроводникового оборудования, поставляющий различные системы и материалы для микроэлектроники.

RION - японская компания, мировой лидер в производстве лазерных счетчиков частиц для чистых комнат.

Sawatec - швейцарская компания, выпускающая полупроводниковые и оптические системы.

Suss MicroTec выпускает системы нанесения и проявления фоторезиста, контактной литографии, бондеры для подложек, а также зондовые системы.

Оборудование, бывшее в употреблении

ClassOne (восстановленное оборудование с 3-месячной гарантией)
General Electric - Global Electronic Services (оборудование с американских полупроводниковых фабрик)
SUSS MicroTec ReMan (оборудование, восстановленное за заводе SUSS, с гарантией)

Расходные части и материалы

Мишени, металлы и их соединения ведущих мировых производителей

Heraeus (Германия) - фирма специализируется на выпуске мишеней специально для полупроводниковой промышленности

Solar (Тайвань) - любые сплавы и конфигурации мишеней (в т.ч. составные). Оптимальное соотношение цена/качество

Umicore (Швейцария) - бывшая Balzers materials, традиционное швейцарское качество для тех, кто хочет выпускать продукцию высшего класса. Кроме мишеней, предлагаются материалы в слитках, прутках, кусочках заданной величины, порошки. Также мы можем предложить лодочки для испарителей - молибденовые, ванадиевые и др. Для систем Balzers BAK подойдут кварцевые датчики, выпускаемые фирмой Umicore.

Иглы для зондовых установок

У нас вы можете приобрести зондовые иглы различных толщин из вольфрама фирмы Suss MicroTec

Фоторезисты и прочие соединения

Резисты немецкой MicroResist Technology - Серия PMMA, LOR, резисты для наноимпринт-литографии и многое другое. Полный каталог скачивайте здесь (pdf, 1,2 Мб)

Резисты серии AZ от MicroChemicals

Резисты американской фирмы MicroChem отличает высокое качество. Мы вам поможем приобрести как электронные, так и фоторезисты, а также смывки для них

TBS

Процессы

Производители оборудования

Оборудование "с пробегом"

Также вы можете посетить сайты производителей: