Мембранный регулятор давления серии SIR 200

Предназначение:

Для использования с коррозионными и окисляющими газами высокой и сверхвысокой степени чистоты, для которых требуется интенсивный поток – например, в процессах изготовления полупроводников или топливных элементов

Основные возможности:

Технология, использующая мембрану и шариковый маховик, обеспечивает чувствительность и точность контроля в небольшом, компактном пространстве
Полная контролепригодность; сборка, испытание и упаковка производятся в стерильных условиях
Нано-электрополировка обеспечивает более высокую устойчивость к коррозии

Спецификации

Типы газов: стандартные, высокой и сверхвысокой степени чистоты, коррозионные и некоррозионные газы

Давление на входе: 240 бар

Давление на выходе: 3, 8, 10, 15, 25, 50 бар

Диапазон температур: от -20° C до + 65° C

CV: 0,2

Герметичность (скорость утечки гелия при максимальном давлении): 10^-9 мбар л/с (He)

Соединение (вход/выход): металлический контакт, торцевое уплотнение, 1/4

Технология: не скрепленная, мембранная, одноступенчатая

Скорость потока: 90 л/мин

Уровень чистоты: 9

Масса: 0,7 кг

Номинальный расход: 170 м³/ч (N2)

Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования membrannyy-regulyator-davleniya-serii-sir-200

Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования membrannyy-regulyator-davleniya-serii-sir-200