Оборудование "с пробегом"
Парк оборудования

В настоящее время в России успешно эксплуатируются следующие поставленные нами установки (на январь 2013):

Фирма "ТБС" является поставщиком оборудования для производства полупроводниковых устройств ведущих мировых фирм . Спектр предлагаемого нами оборудования включает как небольшие установки для НИОКР, так и большие модульные системы для полностью автоматизированного производства полупроводников в больших объемах, также возможна поставка восстановленного оборудования. Наши сертифицированные инженеры готовы подъехать для наладки оборудования в кратчайшие сроки (от нескольких часов). Ускоренная доставка запчастей, а также свой склад в Москве позволяют осуществлять сервисное обслуживание установок без задержек.

 

6 июня 2013 года ООО «ТБС» совместно с партнерами, поставщиками технологического оборудования и технологами ENAS (Фраунхоферовский институт электронных наносистем), проводит семинар, посвященный технологическим процессам при производстве MEMS-устройств.

Семинар состоится в Экпоцентре на Красной Пресне, параллельно с Выставкой Semicon Moscow, в Мраморном зале (цифра 1 на схеме). Просим Вас зарегистрировать своих представителей для участия в семинаре, и мы вышлем официальные приглашения при необходимости.

Участие в семинаре полностью бесплатное. По окончании презентаций приглашаем принять участие в фуршете, где вы сможете пообщаться с коллегами и технологами компаний-производителей.

 

Горячие предложения со склада в России:

  

Установка литографии Karl Suss MJB3 (бывшая в употреблении) в полностью работоспособном состоянии, включенная в производственный цикл в комплекте:

  • установка совмещения с однопольным микроскопом
  • блок питания УФ лампы
  • антивибрационный пневмостол
  • комплект документации, в т.ч. каталог схем
  • Фильтр i-line 365нм, для работы с другими линиями спектра необходимо заказать соответствующие фильтры
  • Объективы 5х, 10х, 20х, 32х
  • Окуляры 10х
  • Подложкодержатели 2", 3"
  • Шаблонодержатели:
    • для масок 4х4" и 5х5" и отверстием для пластин 3"
    • для масок 4х4" и 5х5" и отверстием для пластин 2"
    • для масок 4х4" и отверстием для пластин 3"
  • Лампа запасная 350Вт OSRAM новая

На установке проведены все необходимые профилактические работы: чистка оптики, замена лампы, замена смазки и т.д. Установку можно посмотреть в работе.

Установка скрайбирования (резки) пластин ATV RV-129 (новая):

  • Работа с пластинами до 200 мм
  • Микроскоп с перекрестьем в окулярах
  • Разрешение 10 микрон
  • Максимальная длина реза 220 мм
  • Максимальное передвижение по оси Х 190 мм
  • Для толстых керамических подложек, кремниевых и стеклянных
  • Регулируемые: угод реза, усилие, точка касания и отрыва



Новости технологического оборудования

02-08-2012
Новые ручные системы тестирования микросхем Cascade EPS150 и MPS150
Cascade microtech объявляет о начале продаж двух новых ручных зондовых станций. EPS150 пришла на замену популярной EP6 и включает теперь несколько новых готовых конфигураций: кроме коаксиальных и триаксиальных измерений на постоянном токе и ВЧ-измерений стало возможным приобрести конфигурации для анализа отказов микросхем, измерений в микроволновых, терагерцовых диапазонах и тестирования нагрузок, а также для измерений мощных транзисторов. MPS150, выпускающаяся вместо знаменитой PM5, обеспечивает еще большую гибкость конфигурации под любые задачи пользователей >>>
19-07-2012
Новая система автоматического нанесения SUSS ACS200 Gen3
SUSS MicroTec запускает новую установку кластерного нанесения/проявления/задубливания фоторезиста ACS200 Gen3. Данная установка заменяет установки SUSS Gamma и SUSS ACS200Plus, т.к. имеет гибкие возможности наращивания мощностей. >>>
13-07-2012
ТБС подписан контракт на представительство компании DSG Systems в России
Компания DCG Systems занимается производством систем анализа отказов, обратного проектирования, а также редактирования микросхем. Контракт на поставку нескольких систем в России уже подписан и установки находятся в производстве. Как обычно, ТБС осуществляет полную поддержку установок, обеспечивая гарантийное и пост-гарантийное обслуживание >>>
09-04-2012
Evatec представляет новую систему магнетронного напыления Radiance Single process module
позволяющую напылять составы на подложки диаметром до 200 мм (возможна одновременная загрузка нескольких пластин диаметром до 3 дюймов при помощи специального держателя). На выбор пользователю дается возможность установки одного катода диаметром 300 мм или четырех катодов диаметром 125 мм каждый. Однокатодный модуль обеспечивает высокую производительность системы, тогда как четырехкатодный модуль обладает большей гибкостью, позволяя создавать сплавы «на лету», многослойные покрытия за одну загрузку с большей равномерностью. Также предоставляется выбор по установке автоматического загрузчика из кассет (установка также работает со стандартной ручной загрузкой по одной пластине). Установка наращиваема, т.е. предусматривает возможность подсоединения систем реактивно-ионного травления и/или осаждения диэлектрических пленок фирмы Corial. >>>
09-04-2012
Sawatec официально анонсирует установку SM-180+HP200, которая уже приобрела известность в России и поставлена на несколько предприятий.
Удобная установка для использования в пилотных производствах и в образовательных учреждениях. Благодаря модульности конструкции установка комплектуется любыми стандартными устройствами из модельного ряда Sawatec (например, популярный в России вариант SM-180+HP200, или SM-180+HP200-Z-HMDS или LSM-250+HP200-Z-HMDS и т.п.). >>>
09-04-2012
SUSS MicroTec представляет новую систему экспонирования с изменяемым углом засветки фоторезиста для автоматических установок SUSS MA200
При засветке отвесных стенок полупроводниковых структур стандартная фотолитография не может обеспечить достаточную дозу. Также в тех случаях, когда толщины резистов на стенках больше таковых на поверхности, равномерная засветка резиста становится невозможной на стандартных установках. Для этого необходимо изменить угол засветки, что и предоставляет новая система экспонирования, позволяющая засвечивать как со стандартным углом 90°, так и с углом 60° и 45° >>>
09-04-2012
SUSS MicroTec начинает производство новой автоматической установки фотолитографии SUSS MA100
аналог установки SUSS MA150, но по более низкой цене и работающей на пластинах размером не более 100 мм диаметром. Это решение разработано специально для рынков, ориентированных на оборонные отрасли, в том числе России, а также для производства светодиодов. >>>
09-04-2012
Французская Corial запускает новую систему Corial 200D
обеспечивающую осаждение диэлектрических пленок ICP-CVD и травление в индуктивно связанной плазме ICP в одном реакторе. Данная система предоставляет возможность сокращения затрат тем пользователям, которые используют оба процесса для производства полупроводниковых устройств. >>>
09-04-2012
Немецкая SUSS MicroTec и немецкая Singulus Technologies подписали соглашение о передаче подразделения Hamatech-APE в собственность SUSS MicroTec.
Hamatech-APE занимается производством систем химической и водной отмывки пластин и фотошаблонов. В настоящее время идет согласование продуктов, и к лету 2010 года в линейке продуктов SUSS MicroTec появятся данные системы. Производство расположено под Штуттгартом. >>>
09-04-2012
Американская Cascade Microtech и немецкая SUSS MicroTec пришли к соглашению о передаче подразделения тестовых систем SUSS MicroTec в собственность американской компании.
Американская Cascade Microtech и немецкая SUSS MicroTec пришли к соглашению о передаче подразделения тестовых систем SUSS MicroTec в собственность американской компании. Отметим, что речь идет только о заводе, расположенном в Дрездене и выпускающем зондовые станции, высокочастотные измерительные головки и сопутствующее оборудование. Все литографическое оборудование (системы фотолитографии, нанесения/проявления, бондинга/дебондинга пластин), производство фотошаблонов, микролинз остается в собственности SUSS MicroTec. Более подробная информация - по ссылке (на английском). >>>
09-04-2012
Компания Evatec представляет установку автозагрузки пластин
Компания Evatec представляет установку автозагрузки пластин в купол в системах напыления тонких пленок металлов. Система состоит из модуля кассет, робота и транспортера купола в рабочую камеру напыления. >>>
09-04-2012
SUSS MicroTec выпускает новые зондовые головки
SUSS MicroTec выпускает новые зондовые головки, способные работать на частотах до 67 ГГц. Также представлена технология 1MX, позволяющая достичь 1\\\'000\\\'000 (один миллион) гарантированных контактов на одной зондовой головке. >>>
09-04-2012
Выпущена новая оптика для установок экспонирования SUSS MicroTec под названием \"MO Exposure Optics\"
Она позволяет: увеличить равномерность засветки до ± 2,5% на 6 дюймах (менее 1% на 2 дюймах) увеличить интенсивность засветки до 25% увеличить разрешение при контакте с зазором управлять снижением дифракции, не меняя оптику применять различные формы засветки >>>
09-04-2012
SUSS MicroTec запускает новую установку производства микросхем в автоматическом режиме второго поколения - SUSS ACS300 Gen2.
Преимущества нового поколения системы: мгновенное переключение между 200- и 300-мм пластинами без механического вмешательства превосходная работа с толстыми слоями резистов технология GYRSET для равномерного распределения резиста по пластине различные конфигурации для стандартных и нестандартных пластин робот с шестью степенями свободы для лучшего обращения с тяжелыми подложками (например, многослойными) >>>
09-04-2012
Sawatec выпустил новую модель комплексной системы обработки пластин Wet Bench System WBS-1600
Sawatec выпустил новую модель комплексной системы обработки пластин Wet Bench System WBS-1600, включающую центрифугу, термостолик и проявитель в одном напольном корпусе с дверцами. система легка в установке и готова к работе буквально за несколько минут. Также система имеет раздельные контроллеры, что повышает гибкость в управлении и позволяет не включать не требующиеся в данный момент модули. >>>
09-04-2012
Компания SUSS MicroTec предлагает приставку к фотолитографическим установкам для перехода на нанотехнологии.
Новая приставка для наноимпринт-литографии позволяет установкам совмещения SUSS выполнять структуры от 50 нм до нескольких сотен микрометров с разрешением до нескольких нанометров. >>>
Новости
  • 05-09-2012 Прошел семинар компании AMMT, на котором были представлены системы гальваники, формирования пористого кремния, электрохимического и инфракрасного способов остановки процессов травления. >>>
  • 03-08-2012 В Технологическом центре МИЭТ (Зеленоград) запущена первая в России установка Cascade PM5 с оснасткой для микрофлюидики производства немецкой ChipShop >>>
  • 01-08-2012 В московском ЦНИИХМе запущена первая в России установка травления в парах плавиковой кислоты VPE 150 >>>
  • 05-07-2012 В Московском физико-техническом институте (МФТИ) запущена установка травления в индуктивно связанной плазме Corial 200I. Установка будет использоваться для травления оксидов и нитридов кремния >>>
  • 14-06-2012 В Технологическом центре МИЭТ (Зеленоград) запущена установка сращивания пластин SUSS SB6 >>>
  • 13-06-2012 В Краснодарском ОАО "Салют", занимающемся выпуском солнечных элементов для космической промышленности, запущена установка травления многослойных меза-структур Corial 300RL и установка осаждения диэлектрических пленок D350 >>>
  • 12-06-2012 В Московском институте радиоэлектронки и автоматики (МИРЭА) запущена зондовая установка EP6RF >>>
  • 16-05-2012 В Екатеринбургском институте физики металлов запущена установка зондового контроля Cascade PM5 >>>
  • 23-03-2012 В Санкт-Петербургском ГосНИИПП запущены установки контактной литографии SUSS MicroTec MJB4, Delta12AQ и LabSpin6 >>>
  • 05-03-2012 На одном из уральских предприятий запущена установка зондового контроля Cascade PA200DS >>>
  • Архив новостей