Фирма "ТБС - Технолоджи энд Бизнес Сольюшнс" является поставщиком оборудования для производства полупроводниковых устройств. Мы можем предложить оборудование ведущих мировых фирм. Спектр предлагаемого нами оборудования включает как небольшие установки для НИОКР, так и большие модульные системы для полностью автоматизированного производства полупроводников в больших объемах. Также возможна поставка восстановленного оборудования. Наши сертифицированные инженеры готовы подъехать для наладки оборудования в кратчайшие сроки (от нескольких часов). Ускоренная доставка запчастей, а также свой склад в Москве позволяют осуществлять сервисное обслуживание установок без задержек.
Новости технологического оборудования:
|
Evatec представляет новую систему магнетронного напыления Radiance Single process module, позволяющую напылять составы на подложки диаметром до 200 мм (возможна одновременная загрузка нескольких пластин диаметром до 3 дюймов при помощи специального держателя). На выбор пользователю дается возможность установки одного катода диаметром 300 мм или четырех катодов диаметром 125 мм каждый. Однокатодный модуль обеспечивает высокую производительность системы, тогда как четырехкатодный модуль обладает большей гибкостью, позволяя создавать сплавы «на лету», многослойные покрытия за одну загрузку с большей равномерностью. Также предоставляется выбор по установке автоматического загрузчика из кассет (установка также работает со стандартной ручной загрузкой по одной пластине). Установка наращиваема, т.е. предусматривает возможность подсоединения систем реактивно-ионного травления и/или осаждения диэлектрических пленок фирмы Corial. |
 |
 |
 |
Sawatec официально анонсирует установку SM-180+HP200, которая уже приобрела известность в России и поставлена на несколько предприятий. Удобная установка для использования в пилотных производствах и в образовательных учреждениях. Благодаря модульности конструкции установка комплектуется любыми стандартными устройствами из модельного ряда Sawatec (например, популярный в России вариант SM-180+HP200, или SM-180+HP200-Z-HMDS или LSM-250+HP200-Z-HMDS и т.п.). Технические характеристики установок - здесь |
 |
SUSS MicroTec представляет новую систему экспонирования с изменяемым углом засветки фоторезиста для автоматических установок SUSS MA200 При засветке отвесных стенок полупроводниковых структур стандартная фотолитография не может обеспечить достаточную дозу. Также в тех случаях, когда толщины резистов на стенках больше таковых на поверхности, равномерная засветка резиста становится невозможной на стандартных установках. Для этого необходимо изменить угол засветки, что и предоставляет новая система экспонирования, позволяющая засвечивать как со стандартным углом 90°, так и с углом 60° и 45° |
 |
SUSS MicroTec начинает производство новой автоматической установки фотолитографии SUSS MA100 - аналог установки SUSS MA150, но по более низкой цене и работающей на пластинах размером не более 100 мм диаметром. Это решение разработано специально для рынков, ориентированных на оборонные отрасли, в том числе России, а также для производства светодиодов. |
 |
Французская Corial запускает новую систему Corial 200D, обеспечивающую осаждение диэлектрических пленок ICP-CVD и травление в индуктивно связанной плазме ICP в одном реакторе. Данная система предоставляет возможность сокращения затрат тем пользователям, которые используют оба процесса для производства полупроводниковых устройств. |
 |
Американская Cascade Microtech и немецкая SUSS MicroTec пришли к соглашению о передаче подразделения тестовых систем SUSS MicroTec в собственность американской компании. Отметим, что речь идет только о заводе, расположенном в Дрездене и выпускающем зондовые станции, высокочастотные измерительные головки и сопутствующее оборудование. Все литографическое оборудование (системы фотолитографии, нанесения/проявления, бондинга/дебондинга пластин), производство фотошаблонов, микролинз остается в собственности SUSS MicroTec. Более подробная информация - по ссылке (на английском). В настоящее время мы продолжаем продажи зондовых станций Cascade Microtec Dresden (бывшая SUSS MicroTec Test Systems), они поддерживаются и будут поддерживаться запчастями и сервисом в будущем. После сравнения линеек продуктов компаний будет вынесено решение о полном ассортименте, включающем лучшие продукты объединенной компании. Ориентировочное время принятия решений по данному вопросу - апрель-июнь 2010 года. |
 |
|
 |
Немецкая SUSS MicroTec и немецкая Singulus Technologies подписали соглашение о передаче подразделения Hamatech-APE в собственность SUSS MicroTec. Hamatech-APE занимается производством систем химической и водной отмывки пластин и фотошаблонов. В настоящее время идет согласование продуктов, и к лету 2010 года в линейке продуктов SUSS MicroTec появятся данные системы. Производство расположено под Штуттгартом. |
|
|
Нажмите на картинку для увеличения:  |
Компания Evatec представляет установку автозагрузки пластин в купол в системах напыления тонких пленок металлов. Система состоит из модуля кассет, робота и транспортера купола в рабочую камеру напыления. Такая система облегчает и ускоряет загрузку пластин, при этом исключается вмешательство оператора в процесс, не происходит дополнительного загрязнения. В результате система увеличивает как общий выход пластин в единицу времени, так и значительно улучшает выход годных. Новая система может быть установлена на все установки BAK фирмы Evatec, начиная с системы BAK 641 (например, на BAK 761 или BAK EVO). |
Нажмите на картинку для увеличения:  |
|
|
SUSS MicroTec выпускает новые зондовые головки, способные работать на частотах до 67 ГГц. Также представлена технология 1MX, позволяющая достичь 1'000'000 (один миллион) гарантированных контактов на одной зондовой головке. С помощью технологии 1МХ достигается минимальное повреждение контактной площадки, уменьшаются потери, улучшается изоляция сигнального проводника, что приводит в конечном счете к более точным и аккуратным измерениям. Доктор Стоян Канев, Директор по маркетингу и производству отделения тестовых систем SUSS MicroTec: "Новая технология поднимает на недосягаемую прежде выстоту аккуратность измерений с помощью уменьшения прямых и отраженных потерь, а также позволяет использовать зондовые головки на частотах до 67 ГГц." По-прежнему доступны различные версии головок для измерений в крио-среде (от 10К) и высоких температур (до 300С) Подробнее о новых зондовых головках смотрите на сайте SUSS MicroTec, а также в специальном разделе нашего сайта |
Нажмите на картинку для увеличения:  |
|
Нажмите на картинку для увеличения: |
Выпущена новая оптика для установок экспонирования SUSS MicroTec под названием "MO Exposure Optics" Она позволяет:
MO-оптика предоставляется с полной библиотекой установок засветки, включая А-оптику, B-оптику, D-оптику, HR и LGO-оптику, плюс дополнительные установки круговой засветки, квадратной и мальтийским крестом (0°, 45°). Простой заменой пластин с фильтрами достигается нужное сокращение дифракции для увеличесния глубины фокуса и ширины засветки при уменьшении факторов ошибки шаблона. Оптика может быть установлена во все современные модели установок совмещения и экспонирования SUSS MicroTec - как ручные MJB4, MA/BA6, MA8, так и автоматические MA150, MA200 Compact, MA300 и полностью совместима со всеми системами засветки. |
 |
|
 |
SUSS MicroTec запускает новую установку производства микросхем в автоматическом режиме второго поколения - SUSS ACS300 Gen2. Преимущества нового поколения системы:
|
 |
Sawatec выпустил новую модель комплексной системы обработки пластин Wet Bench System WBS-1600, включающую центрифугу, термостолик и проявитель в одном напольном корпусе с дверцами. система легка в установке и готова к работе буквально за несколько минут. Также система имеет раздельные контроллеры, что повышает гибкость в управлении и позволяет не включать не требующиеся в данный момент модули. |
 |
Компания SUSS MicroTec предлагает приставку к фотолитографическим установкам для перехода на нанотехнологии. Новая приставка для наноимпринт-литографии позволяет установкам совмещения SUSS выполнять структуры от 50 нм до нескольких сотен микрометров с разрешением до нескольких нанометров. Ультрафиолетовая наноимпринт-литография (UV-NIL) представляет собой недорогую технологию, основанную на отверждении при воздействии ультрафиолета. Она была разработана в качестве более дешевой альтернативы электронно-лучевой литографии высокого разрешения для формирования геометрических элементов размерами от 20 нм. Перспективные применения технологии UV-NIL включают изготовление полупроводниковых изделий, микро-опто-электро-механических систем (MOEMS), нано-электро-механических систем (NEMS) и оптоэлектронных приборов. С помощью данного набора средств можно с минимальными затратами модернизировать любую уже применяемую установку совмещения (MJB4, MA6) компании SUSS. Так компания SUSS MicroTec предлагает своим клиентам просто и быстро войти в мир нанотехнологий. Подробнее - здесь |
