---

Международная компания Plasma-Therm, основанная в 1974 году в США, является производителем высокотехнологичного плазмохимического оборудования для микроэлектронной отрасли. В июне 2018 года наш давний партнер компания Corial перешла под контроль группы компаний Plasma-Therm, о чем было объявлено в официальном пресс-релизе на сайте компании.


Подробная информация о модульной платформа VERSALINE уже доступна на нашем сайте.

Основные  плазмохимические системы VERSALINE PECVD, VERSALINE ETCH и VERSALINE DSE с широкими возможностями модернизации обеспечивают эталонную эффективность и адаптивность для специализированных быстро развивающихся рынков высокотехнологичных производств – от НИОКР до крупных предприятий.

Основные возможности платформ VERSALINE:

• Максимальная производительность при низких эксплуатационных затратах
• Гибкие возможности для работы с одной или несколькими пластинами на 279 мм (11‘’) электроде
• Возможность работать с нестандартными подложками и носителями – идеальное решение для НИОКР или специальных проектов
• Малая площадь основания для эффективного использования чистого помещения
• Полноценные 2 МГц для оптимальной эффективности и снижения емкостных связей без экранирующей клетки Фарадея
• Высокоскоростное бездефектное травление сквозных отверстий III-V (GaAs, InP)
  
• Инновационные конфигурации, позволяющие работать как с отдельными пластинами, так и с партиями
  
• Первоклассная технология моментального модулирования процесса с уникальными широтными характеристиками для глубокого травления кремния (DSE)
  
• Большая библиотека процессов для электроники и фотоники
  
• SiO2, S3N4, SiOxNy, a-Si:H, SiC или DLC пленки
• SiOxNy с коррекцией по индексу (показателю преломления)
• Контроль напряженности при работе с SiNx без низкочастотных повреждений
• SiO2 с низкой напряженностью
• Модернизируемые варианты загрузки подложек

Более подробную информацию вы всегда можете получить у наших менеджеров по телефону
(495) 287 8577 или отправив запрос на электронную почту infos@tbs-semi.ru