Держатель пластин для жидкостной обработки (травление) Idonus

Травление пластин в жидких травителях обычно подразумевает контакт травителя со всей поверхностью пластины, при этом заднюю сторону обычно защищают, так как нужна обработка только одной стороны. Наши держатели позволяют защитить заднюю сторону пластины. Таким образом глубокие структуры могут быть протравлены. Держатели могут быть изготовлены для пластин любого размера, а также для кусочков.

Описание держателя пластин для жидкостной обработки

Держатель состоит из фиксатора пластины и крышки. Пластина размещается на фиксаторе и прижимается крышкой. Фиксация обеспечивается винтами. Уплотняющие кольца обеспечивают защиту от протекания химии внутрь держателя. Крышка держателя изготавливается индивидуально под толщину пластины для уменьшения нагрузки на пластину.

Держатели изготавливаются из полимера PEEK, который устойчив к большинству химий (HF, KOH, TMAH), используемых в производстве МЭМС. В тоже время полимер имеет твердость близкую к твердости алюминия, что позволяет очень точно обрабатывать держатель, уменьшая зазоры и снижая нагрузку на пластину.  Для обработки утоненных пластин и изготовления мембран в держателе может быть предусмотрен вентиляционный канал, сообщающийся с атмосферой, такой канал также рекомендуем при работе с нагреваемыми травителями.  Вентиляционный канал предотвращает избыточную нагрузку на пластину в процессе жидкостной обработки.  Держатели могут быть разработаны для решения различных задач.

Держатель для травления под пластины размером 100 и 200 мм из полимера Полиэфирэфиркетон (слева) и с вентиляционным каналом (справа).

Общая информация

Контейнер для переноса и хранения держателей пластин могут быть изготовлены по вашему дизайну. Большинство контейнеров изготовлены под системы травления покупателей.


Большинство контейнеров изготовлены под системы травления покупателей


Держатель для травления под пластину 100 мм из PEEK

Код товара	WPWC
Размер пластин	от 2” до 8”, индивидуальный размер под заказ
Материал Держатель Крышка Винты Уплотняющее кольцо	PEEK PEEK PEEK Зависит от используемой химии
Внутренние размеры (мм) Толщина уплотняющего кольца Рекомендованная область исключения	2.62 7
Внешние размеры (мм) Диаметр толщина Винты	Размер пластины +40 25 M6
Допуск к используемым толщинам пластин (мкм)	Толщина пластины + / - 200
Температура (° C)	От 5 до 150
Конфигурации Вентиляция Ручка	С или без вентиляционного канала С или без съемной ручки