---

На ОАО "Сатурн", г.Краснодар, выпускающем солнечные элементы на кремнии и арсениде галлия, установлена и запущена новая линейка установок нанесения тонких пленок фирмы Evatec. В установках впервые применена технология плазменного источника для нанесения оптических покрытий. Линейка состоит из трех установок BAK. Эта линейка является вторым технологическим звеном, реализованном на краснодарском предприятии фирмой ООО ТБС. С августа 2009 года успешно эксплуатируется автоматизированная фотолитографическая фабрика SUSS LithoFab200 (см. новость от августа).