Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
В Московском физико-техническом институте (МФТИ) запущена установка травления
Новости компании 05/07/2012 18:17В Московском физико-техническом институте (МФТИ) запущена установка травления в индуктивно связанной плазме Corial 200I. Установка будет использоваться для травления оксидов и нитридов кремния.