Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
В московском ЦНИИХМе запущены установки фотолитографии и совмещения пластин для MEMS-устройств
Новости компании 11/08/2010 12:40В московском ЦНИИХМе запущены установки фотолитографии и совмещения пластин для MEMS-устройств SUSS MA/BA6 и установка анодного сращивания SUSS SB6L.