---

Radiance SPM (Single process module) позволяет напылять составы на подложки диаметром до 200 мм (возможна одновременная загрузка нескольких пластин диаметром до 3 дюймов при помощи специального держателя). На выбор пользователю дается возможность установки одного катода диаметром 300 мм или четырех катодов диаметром 125 мм каждый.

Однокатодный модуль обеспечивает высокую производительность системы, тогда как четырехкатодный модуль обладает большей гибкостью, позволяя создавать сплавы «на лету», многослойные покрытия за одну загрузку с большей равномерностью. Также предоставляется выбор по установке автоматического загрузчика из кассет (установка также работает со стандартной ручной загрузкой по одной пластине). Установка наращиваемая, т.е. предусматривает возможность подсоединения систем реактивно-ионного травления и/или осаждения диэлектрических пленок фирмы Corial.