Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Компания Evatec представляет установку автозагрузки пластин
Новости партнёров 09/04/2012 17:23
Компания Evatec представляет установку автозагрузки пластин в купол в системах напыления тонких пленок металлов. Система состоит из модуля кассет, робота и транспортера купола в рабочую камеру напыления. Такая система облегчает и ускоряет загрузку пластин, при этом исключается вмешательство оператора в процесс, не происходит дополнительного загрязнения.
В результате система увеличивает как общий выход пластин в единицу времени, так и значительно улучшает выход годных. Новая система может быть установлена на все установки BAK фирмы Evatec, начиная с системы BAK 641 (например, на BAK 761 или BAK EVO).