Улучшенный каркас установки позволяет более гибко конфигурировать систему по сравнению с предыдущими поколениями системы., например, можно установить 4 модуля для мокрых процессов + 19 термостолов или 2 модуля для мокрых процессов + 2 модуля спреевого нанесения + 13 термостолов.

Система имеет уникальную возможность размещать до 3 термостолов над каждым модулем мокрых процессов и 7 термостолов в дополнительном отсеке, что значительно экономит занимаемую площадь и является рекордом для 200-мм установок. Система имеет также несвязанные системы ввода-вывода. Две системы ввода-вывода рассчитаны для проведения НИОКР, а станция автоматической загрузки обеспечивает беспрерывное производство без остановки на смену кассет.

Чаша для нанесения по-прежнему может использоваться как в открытом режиме, так и с крышками GYRSET для улучшенной равномерности распределения резиста по пластине. Система имеет прямое соединение с автоматическими системами экспонирования фирмы SUSS, что обеспечивает полный литографический процесс без вмешательства оператора.

• Совмещает в себе компактность установок Gamma и автоматизацию и удобство установок ACS200Plus
• Непревзойденная гибкость системы – от НИОКР до больших объемов производства (МЭМС, светодиодов,солнечных панелей и пр.)
• Самое большое количество модулей для процессов среди 200-мм установок