Новая установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA Gen4 призвана заменить популярную установку MA/BA6 (17 машин в России). Основная идея в том, что за время существования первого и второго поколения машин цифровые микроскопы сделали качественный рывок вперёд и теперь по некоторым параметрам даже лучше оптических. В четвертом поколении отсутствует верхний оптический микроскоп, что позволило уменьшить цену установки.

Она по-прежнему может комплектоваться как продвинутой MO оптикой, так и стандартной, а также новым светодиодным модулем засветки. Теперь в установке возможно обеспечить fusion-бондинг (прямое сращивание пластин) без переноса в отдельный бондер – отличный выбор для НИОКР на кремнии. Установка Gen3, несмотря на маркировку предыдущим поколением, продолжает оставаться флагманом и самой продвинутой установкой на рынке с возможностью программного ассистирования и автоматического совмещения – таких установок в России 4 штуки.