TS3000-HP и TS3500-HP - это две новые специализированные зондовые станции MPI для измерения параметров мощных полупроводниковых устройств на пластине в широком температурном диапазоне от -60° C до +300°C, а также в широком диапазоне напряжений (3 кВ триаксиальный держатель / 10 кВ коаксиальный держатель) и токов (до 600 A в импульсе). Станции поддерживают измерения на тонких пластинах или пластинах Taiko (опция, доступная для обеих систем).

Обе системы оснащены системой MPI ShielDEnvironment™ для проведения измерений с низким уровнем шумов и автоматическим загрузчиком пластин WaferWallet, а TS3500-удовлетворяет повышенным требованиям к производительности (до 10 раз быстрее) за счет полностью автоматизированной работы с пластинами, такими как 150 мм SiC, 200 мм GaN, а также 300 мм.