- увеличить равномерность засветки до ± 2,5% на 6 дюймах(менее 1% на 2 дюймах)
 - увеличить интенсивность засветки до 25%
 - увеличить разрешение при контакте с зазором
 - управлять снижением дифракции, не меняя оптику
 - применять различные формы засветки

MO-оптика предоставляется с полной библиотекой установок засветки, включая А-оптику, B-оптику, D-оптику, HR и LGO-оптику, плюс дополнительные установки круговой засветки, квадратной и мальтийским крестом (0°, 45°). Простой заменой пластин с фильтрами достигается нужное сокращение дифракции для увеличесния глубины фокуса и ширины засветки при уменьшении факторов ошибки шаблона.

Оптика может быть установлена во все современные модели установок совмещения и экспонирования SUSS MicroTec - как ручные MJB4, MA/BA6, MA8, так и автоматические MA150, MA200 Compact, MA300 и полностью совместима со всеми системами засветки.