Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Компания ТБС
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
Меню
главнаяоборудованиеинжинирингсервис
комплектующие
производителиреализованные проекты
РЕАЛИЗОВАННЫЕ ПРОЕКТЫ

География поставленного нами оборудования

г. Арзамас
Газовая обвязка_Арзамас
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ПАО АНПП)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (ПАО АНПП)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (ПАО АНПП, 2 шт.)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (ПАО АНПП)
г. Брянск
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (БЭМЗ)
Печь Sawatec HP-200 для сушки и задубливания (БЭМЗ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (БЭМЗ)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (БЭМЗ)
г. Великий Новгород
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM-180-BM (ОКБ Планета)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ОКБ Планета)
Печь Sawatec HP-200-Z-HMDS для сушки и задубливания (ОКБ Планета)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6GEN3 (ОКБ Планета 2 шт.)
Установка формирования пористого кремния MOT μPor (ОКБ «Планета»)
г. Владивосток
Настольная печь Sawatec HP150 для сушки и задубливания (ДВГУ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ДВГУ)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (ДВГУ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ДВГУ)
г. Вологда
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761 (ВОМЗ)
г. Воронеж
Газовая обвязка_НИИЭТ
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (Микродизайн)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (ВГТУ)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (НИИЭТ)
Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 210RL (НИИЭТ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (НИИЭТ)
г. Дзержинск
Комбинированная установка для нанесения и сушки фоторезиста Sawatec SM-200/HP-200 duo (Мелситек)
Установка вакуумного напыления Vinci PVD-20 (Мелситек)
Установка для совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (Мелситек)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (Мелситек)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (Мелситек)
Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (Мелситек)
г. Екатеринбург
Автоматизированная система бондинга микрокомпонентов Ficontec BL2000 (НИИ 2 шт.)
Автоматизированная система бондинга микрокомпонентов Ficontec BL500 M (НИИ)
Автоматизированная система сборки микрокомпонентов Ficontec AL1000 (НИИ 2 шт.)
Автоматизированная система сборки микрокомпонентов Ficontec AL500 (НИИ)
Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma (НИИ)
Бондер для пластин SUSS SB6L (НИИ г.Екатеринбург)
Газовая обвязка_НИИ
Комбинированная установка Sawatec SM-180+HP-200 (УрФУ)
Печь Sawatec HP-200-Z-HMDS для сушки и задубливания (НИИ)
Платформа для нанесения и проявления фоторезиста Suss RCD8 (НИИ, 2 шт)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (НИИ)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade RA120 (НИИ)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (ИФМ УрО РАН 2 шт.)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИФМ УрО РАН)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НИИ г.Екатеринбург)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (УрФУ)
Система тестирования оптоэлектронных компонентов Ficontec TL1000 (НИИ)
Установка реактивно-ионного травления Corial 300S (НИИ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641 (НИИ г. Екатеринбург 3 шт.)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761 (НИИ г. Екатеринбург)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (НИИ)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (НИИ)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (НИИ)
Установка спреевого нанесения резиста SUSS Delta 20 (НИИ)
Устройство для отмывки пластин и фотошаблонов SUSS HMXSQUARE (НИИ)
г. Жуков
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (КЗРТА)
г. Заречный
Микроскоп для работы с пластинами до 300 мм HSEB Axiotron 2 (Старт)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Старт)
г. Краснодар
Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma (Сатурн, 2 шт)
Автоматическая система фотолитографии Suss ACS200P (Сатурн)
Автоматическая установка совмещения и экспонирования SUSS MA200 (Сатурн)
Газовая обвязка_Сатурн
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641 (ОАО «Сатурн»)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761 (ОАО «Сатурн» 2 шт.)
Установка плазмохимического осаждения Corial D350L (Сатурн)
Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 300RL (Сатурн)
г. Красноярск
Ручная зондовая станция MPI TS150 (Физический институт)
г. Курск
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (Курск)
г. Москва
Cистема четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 178(НИИ)
Автоматизированная система бондинга микрокомпонентов Ficontec BL500 M (Сапфир)
Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma (ИНМЭ)
Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma (Пульсар)
Бондер для пластин SUSS SB6L (ИНМЭ г. Москва)
Бондер для пластин SUSS SB6L (НИИ г. Москва, 2 шт.)
Бондер для пластин SUSS SB6L (НИЦ "Курчатовский институт")
Встроенная печь Sawatec HP-200-BM для сушки и задубливания (Полюс)
Встроенная печь Sawatec HP-200-BM для сушки и задубливания (ФГКУ, 2 шт.)
Газовая обвязка_Пульсар
Комбинированная установка Sawatec SM-180+2xHP150 (МИФИ, 2 шт.)
Настольная печь Sawatec HP-401-BT для сушки и задубливания (ГНЦ РФ)
Настольная печь Sawatec HP-401-BT для сушки и задубливания (Квант)
Настольная печь Sawatec HP150 для сушки и задубливания (ГНЦ РФ, 2 шт.)
Настольная печь Sawatec HP150 для сушки и задубливания (МПГУ)
Настольная печь Sawatec HP150 для сушки и задубливания (Пульсар)
Настольная печь Sawatec HP150 для сушки и задубливания (ФТИАН)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (ЛабТех)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (МАТИ)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (МФТИ)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (НИЦ "Курчатовский институт")
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (Радий, 2 шт.)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (Технический университет)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM-180-BM (Полюс)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM-180-BM (Радий, 2 шт.)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ГНЦ РФ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ИРЭ РАН)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ИФХЭ РАН)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (МПГУ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Промтехнология)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Пульсар, 3 шт)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (РНИИКП)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ФГКУ, 2 шт.)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ФТИАН, 2 шт)
Печь Sawatec HP-200 для сушки и задубливания (ФТИАН)
Печь Sawatec HP-200-Z-HMDS для сушки и задубливания (ГНЦ РФ)
Печь Sawatec HP-401-Z Cabinet для сушки и задубливания (Компас)
Печь Sawatec HP200-350HMDS для сушки и задубливания (МИРЭА)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (НИИСИ РАН 2 шт.)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (Пульсар)
Полуавтоматическая зондовая станция MPI TS2000 (НИИ)
Полуавтоматическая зондовая станция MPI TS2000SE (Технический университет)
Ручная зондовая станция Cascade EP4 (Пульсар, 4 шт.)
Ручная зондовая станция Cascade EP6 (ГНЦ РФ)
Ручная зондовая станция Cascade EP6 (МГТУ МИРЭА)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (РКС)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (ФГКУ)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (ТБС)
Ручная зондовая станция MPI TS200 (НПО "Прибор")
Ручная зондовая станция MPI TS50 (ИФХЭ РАН)
Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8 (МАТИ, 2 шт)
Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8 (Радий, 2 шт)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Альфа)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ГНЦ РФ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ГосНИИП)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИСВЧПЭ РАН 2 шт.)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИФХЭ РАН)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (МАТИ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (МИФИ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (МПГУ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НИИ Точных приборов)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НИЦ "Курчатовский институт")
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Полюс)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Сапфир)
Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE (ГНЦ РФ)
Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE (Технический университет)
Установка SMA для совмещения перед напылением слоев металла в вакууме через маску (ГНЦ РФ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (ИНМЭ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (МПГУ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641 (НПП «Квант»)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761 (ГНЦ РФ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761 (НПП «Квант»)
Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI (ГНЦ РФ)
Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI (Технический университет)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12AQ (Квант)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (Квант)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA6 (ИСВЧПЭ РАН, 2 шт)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA8 (Квант)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (ГНЦ РФ)
Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 210R (МПГУ)
Установка плазмохимического травления и осаждения Corial 210D (ГНЦ РФ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210I (МФТИ 2шт.)
Установка проекционной фотолитографии (степпер) Canon FPA-3000 i4 (НИИ)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (ГНЦ РФ)
Установка совмещения и экспонирования SUSS BA8GEN3 (ИНМЭ)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (ГНЦ РФ, 2 шт.)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (НИЦ "Курчатовский институт")
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (РКС)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (ФГУП ВНИИА им. Духова)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (ФТИАН)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6GEN3 (Циклон)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA8GEN3 (Технический университет)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA6 (ГНЦ РФ)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (РКС)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (Сапфир)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (Технический университет)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (ФГКУ)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (ФГУП ВНИИА им. Духова (Царицыно))
Установка сращивания пластин SUSS SB8 Gen2 (Технический университет)
Установка формирования пористого кремния MOT μPor (ГНЦ РФ)
Установка экспонирования SUSS MA1006 (НПП "Квант")
Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec LSM-250 (Компас, 2 шт.)
г. Московская область
Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma (ТЦ МИЭТ, 2 шт)
Автоматическая система фотолитографии Suss ACS200 Gen3 (АО НПП, 2 шт.)
Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168(АО НПП)
Автоматическая установка совмещения и экспонирования SUSS MA150E (ЗНТЦ МИЭТ)
Автоматическая установка совмещения и экспонирования SUSS MA150E (ТЦ МИЭТ)
Автоматическое устройство для отмывки пластин SUSS ASC 5500 (ЦКППИФ)
Газовая обвязка_ЗНТЦ
Газовая обвязка_МФТИ
Зондовая станция Cascade EP4 (АО НПП)
Микроскоп для работы с пластинами до 300 мм HSEB Axiotron 2 (АО НПП, 3 шт.)
Микроскоп для работы с пластинами до 300 мм HSEB Axiotron 2 (МИЭТ 2шт.)
Микроскоп для работы с пластинами до 300 мм HSEB Axiotron 2 (Элпа)
Настольная печь Sawatec HP-200-BT для сушки и задубливания (НТ-МДТ)
Настольная печь Sawatec HP150 для сушки и задубливания (НИИПА)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (Элпа)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM-180-BM (НИИТАЛ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM150BT (Сколково)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Криптен)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (МИЭТ, 2 шт.)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (НИИПА)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Раменское КБМ )
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ТИСНУМ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Элпа)
Печь Sawatec HP-200 для сушки и задубливания (МИЭТ)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (ИППМ РАН)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (Микрон)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA300 (ТЦ МИЭТ)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade Summit 12000B-S (МИЭТ)
Ручная зондовая станция Cascade EP6 (ЗНТЦ МИЭТ)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (МИЭТ (СЭЗ))
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (МИЭТ)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (Лаборатория Наноматериалова)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (Миландр)
Ручная зондовая станция MPI TS50 (МИФИ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB3 (ИФТТ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (АО НПП, 2 шт.)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИПТМ РАН)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИФТТ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (МИЭТ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НИИПА)
Система молекулярной печати BioForce Nano eNabler (НПК "Технологический центр")
Система молекулярной печати BioForce Nano eNabler (ТЦ МИЭТ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (АО НПП, 2 шт.)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641 (АО НПП, 2 шт.)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761 (АО НПП )
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12AQ (АО НПП)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (АО НПП)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA6 (ИПТМ РАН)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA6 (ИФТТ РАН)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA6 (ТЦ МИЭТ)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA80 (АО НПП)
Установка наноимпринт-литографии SUSS FC150 (НПК «Технологический центр»)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (АО НПП, 2 шт.)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (МИЭТ)
Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 210R (АО НПП)
Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 210RL (АО НПП, 2 шт.)
Установка плазмохимического реактивно-ионного травления Corial 210RL (МИЭТ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210I (МИЭТ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (АО НПП)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (МИЭТ 2 шт.)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (АО НПП)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (МИЭТ)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (АО НПП, 2 шт.)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (ЗНТЦ МИЭТ 2 шт.)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (МИЭТ 2 шт.)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (НИИ МВ)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (Оптолинк)
Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300 (МИЭТ)
Установка спреевого нанесения резиста SUSS AD12 (АО НПП)
Установка сращивания пластин SUSS SB6E (ЗНТЦ МИЭТ)
Установка сращивания пластин SUSS SB6E (ТЦ МИЭТ)
Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec LSM-250 (АО НПП)
г. Нижний Новгород
Встроенная печь Sawatec HP-200-BM для сушки и задубливания (ННИИРТ)
Газовая обвязка_ННИИРТ
Комбинированная установка Sawatec SM-180+HP-200 (Салют)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ННГУ)
Полуавтоматическая зондовая станция MPI TS2000SE (Салют)
Ручная зондовая станция Cascade EP6 (КБ Икар)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (НИИИС 2 шт.)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (Салют)
Ручная зондовая станция MPI TS150THZ (Салют)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИФМ РАН)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ННИИРТ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Салют 2 шт.)
Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE (НИИИС)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (ННИИРТ)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (НПП «Салют»)
Установка вакуумного напыления VINCI PVD-4 (НПП «Салют» 2 шт)
Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI (НИИИС)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (ННИИРТ)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (Салют)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (ННИИРТ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (Салют)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (ННИИРТ)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (Салют)
Установка сращивания пластин SUSS SB8E (НИИИС)
Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec LSM-250 (ННИИРТ)
г. Новосибирск
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (НГУ)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (СИБИС)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ИФП СО РАН 3 шт.)
Установка совмещения и экспонирования SUSS BA8GEN3 (ИФП СО РАН)
Установка сращивания пластин SUSS SB8E (ИФП СО РАН)
г. Омск
Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE (ОНИИП)
г. Пенза
Установка сращивания пластин SUSS SB6E (НИИФИ)
г. Пермь
Встроенная печь Sawatec HP-200-BM для сушки и задубливания (ПГУ)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (ПГУ, 2 шт.)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM-180-BM (ПГУ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ПНИПУ)
г. Ростов-на-Дону
Газовая обвязка_Ростов-на-Дону
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (НИИ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (НИИ, 3 шт.)
Платформа для нанесения и проявления фоторезиста Suss RCD8 (НИИ, 2 шт)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (НИИ)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (НИИ 2 шт.)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (НИИ)
Ручная зондовая станция MPI TS150 AIT (НИИ)
Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8 (НИИ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB3 (НИИ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НИИ 2 шт.)
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 501 (НИИ 3 шт.)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (НИИ)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (НИИ 2шт.)
Установка плазмохимического травления и осаждения Corial 210D (НИИ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (НИИ 2 шт.)
Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec LSM-250 (НИИ, 2 шт.)
г. Рязань
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (ГРПЗ)
г. Санкт-Петербург
Автоматическая система фотолитографии Suss ACS200 Gen3 (Авангард)
Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168(Авангард)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (Авангард)
Настольная печь Sawatec HP150-BT для сушки и задубливания (ФТИ)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Гранит-Электрон)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Оптосенс (ИКО) 2 шт)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Радар ММС)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (РГПУ им. Герцена)
Печь Sawatec HP-401-Z Cabinet для сушки и задубливания (Светлана-Рост)
Печь Sawatec HP160-250 для сушки и задубливания (Светлана-Рост, 2 шт.)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (Светлана-Оптоэлектроника)
Полуавтоматическая зондовая станция MPI TS2000SE (ВНИИРА)
Ручная зондовая станция Cascade EP6 (ГосНИИП)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (Радар ММС)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (Светлана-ПП)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (Фотон)
Ручная зондовая станция Cascade PM8 (НОЦ Алфёрова)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (ФТИ)
Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8 (Авангард, 2 шт)
Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8 (ГосНИИП)
Ручная система нанесения и проявления фоторезиста с помощью центрифугирования Suss LabSpin 6/8 (Светлана-Электрон)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB3 (Оптосенс)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Государственный Оптический Институт им. С.И. Вавилова)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НОЦ Алфёрова)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12AQ (ГосНИИП)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (Авангард)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA12L (Светлана-Рост)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA6 (НОЦ Алфёрова, 3 шт)
Установка нанесения резиста SUSS DELTA6 (Светлана-Рост)
Установка плазмохимического травления и осаждения Corial 210D (Светлана-Рост)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (Светлана-Рост)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (Гранит-Электрон)
Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6 (Светлана-Рост 2 шт.)
Установка спреевого нанесения резиста SUSS Delta 10 (Светлана-Рост)
г. Саратов
Газовая обвязка_СГУ
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (СГУ)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (Алмаз)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (СГУ)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (СГУ)
г. Томск
Настольная печь Sawatec HP-401-BT для сушки и задубливания (Микран, 2 шт.)
Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM180BT (Тусур)
Полуавтоматическая зондовая станция Cascade PA200 (Микран)
Ручная зондовая станция Cascade PM5 (Микран 2 шт.)
Ручная зондовая станция MPI TS150 (НИИПП)
Ручная зондовая станция MPI TS150 AIT (TГУ)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Микран 2 шт.)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (НИИПП)
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ТГУ, 2 шт.)
Установка плазмохимического осаждения Corial D250 (НИИПП)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210I (Микран)
Установка плазмохимического травления индуктивно связанной плазмой Corial 210IL (Микран)
г. Тула
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (Стрела)
г. Ульяновск
Печь Sawatec HP-200 для сушки и задубливания (Искра)
Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec LSM-250 (Искра)
г. Чебоксары
Комбинированная установка Sawatec SM-180+HP-200 (Элара)
Установка проявления фоторезиста Sawatec LRD-250 (Элара)
г. Ярославль
Ручная установка совмещения и экспонирования SUSS MJB4 (ЯФ ФТИАН РАН )
картинка495 287 8577
   картинкаinfos@tbs-semi.ru
лого
Наш адрес
105064, Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
картинкаНайти на карте
Обратная связь
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ,
на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.

© 2024. Фирма "ТБС". Поставщик оборудования для производства полупроводниковых устройств

Наверх